Os sistemas de mancais de ar de granito são amplamente utilizados emultraprecisãoPlataformas de movimento para fabricação de semicondutores, alinhamento óptico e metrologia em nanoescala.
Esses sistemas eliminam o contato mecânico utilizando uma fina película de ar pressurizado, alcançando um movimento com atrito próximo de zero.
Princípio do Mancal de Ar
Os mancais de ar funcionam introduzindo ar comprimido entre duas superfícies, formando uma película de ar de 2 a 20 μm.
Isso elimina:
- Atrito mecânico
- Vestir
- comportamento de deslizamento intermitente
O sistema baseia-se na dinâmica da película fluida e no fluxo laminar estável.
Papel do granito
O granito proporciona:
- Estabilidade estrutural
- Supressão da deriva térmica
- Amortecimento de vibrações
Serve como base de referência mecânica para o sistema de movimento.
Componentes do sistema
- Base de granito
- almofadas de rolamento de ar
- Sistema de fornecimento de ar
- Codificadores de precisão
- Sistema de controle de movimento
Características de desempenho
O desempenho típico inclui:
- Precisão de posicionamento submicrométrica
- Alta retidão em longos percursos
- Folga mecânica zero
As principais fontes de erro incluem instabilidade da pressão do ar, deriva térmica e erro do codificador.
Aplicações
- Inspeção de wafers semicondutores
- Sistemas de litografia
- Plataformas de alinhamento óptico
- Máquinas de metrologia de alta tecnologia
Perguntas frequentes
Os rolamentos de ar se desgastam?
A ausência de contato mecânico elimina o desgaste.
Por que usar granito?
Para estabilidade e amortecimento de vibrações.
O que limita a precisão?
Estabilidade do ar e efeitos térmicos.
Eles conseguem transportar cargas pesadas?
Sim, dependendo do projeto.
Data da publicação: 03/07/2026