Na linha de produção de semicondutores, os requisitos do processo de fabricação de chips em relação às condições ambientais e à precisão dos equipamentos são extremos, e qualquer pequeno desvio pode levar a uma queda significativa no rendimento dos chips. A plataforma de movimentação de pórtico de precisão XYZT utiliza componentes de granito que, em conjunto com outras partes da plataforma, criam uma base sólida para alcançar precisão em nanoescala.
Excelentes propriedades de bloqueio de vibração
Em uma fábrica de semicondutores, a operação de equipamentos periféricos e a circulação de pessoal podem causar vibrações. A estrutura interna dos componentes de granito é densa e uniforme, com características naturais de alto amortecimento, funcionando como uma eficiente "barreira" contra vibrações. Quando a vibração externa é transmitida para a plataforma XYZT, o componente de granito atenua efetivamente mais de 80% da energia vibratória, reduzindo a interferência da vibração na precisão de movimento da plataforma. Ao mesmo tempo, a plataforma é equipada com um sistema de guia de ar de alta precisão, que funciona em conjunto com os componentes de granito. O sistema de guia de ar utiliza a película de gás estável formada por gás de alta pressão para realizar o movimento de suspensão sem contato das partes móveis da plataforma e reduzir as pequenas vibrações causadas pelo atrito mecânico. Juntos, esses dois elementos garantem que a precisão de posicionamento da plataforma seja sempre mantida em nível nanométrico em processos críticos, como litografia e corrosão de chips, e evitam o desvio dos padrões do circuito do chip causado pela vibração.
Excelente estabilidade térmica
A flutuação de temperatura e umidade na oficina tem grande influência na precisão dos equipamentos de fabricação de chips. O coeficiente de expansão térmica do granito é muito baixo, geralmente entre 5 e 7 × 10⁻⁶/℃, e seu tamanho permanece praticamente inalterado com a variação de temperatura. Mesmo que a diferença de temperatura entre o dia e a noite na oficina ou o calor gerado pelos equipamentos causem flutuações na temperatura ambiente, os componentes de granito permanecem estáveis, evitando a deformação da plataforma devido à expansão e contração térmica. Ao mesmo tempo, o sistema inteligente de controle de temperatura da plataforma monitora a temperatura ambiente em tempo real, ajustando automaticamente o ar condicionado e os equipamentos de dissipação de calor, mantendo a temperatura da oficina em 20 °C ± 1 °C. Combinando isso com as vantagens da estabilidade térmica do granito, garante-se que, em operação contínua da plataforma, a precisão de movimento de cada eixo atenda sempre aos padrões de precisão nanométrica da fabricação de chips, assegurando que o tamanho do padrão de litografia do chip seja preciso e a profundidade de gravação uniforme.
Atender às necessidades de um ambiente limpo
A fábrica de semicondutores precisa manter um alto grau de limpeza para evitar que partículas de poeira contaminem os chips. O granito, por si só, não produz poeira e sua superfície lisa dificulta a absorção do pó. A plataforma como um todo adota um design de estrutura totalmente fechada ou semiaberta para reduzir a entrada de poeira externa. O sistema de circulação de ar interno está integrado ao sistema de ar condicionado da fábrica, garantindo que a limpeza do ar interno atinja o nível exigido pela fabricação de chips. Nesse ambiente limpo, os componentes de granito não terão seu desempenho afetado pela erosão causada pela poeira, e componentes-chave, como sensores de alta precisão e motores da plataforma, podem operar de forma estável, proporcionando uma garantia contínua e confiável de precisão em nanoescala para a fabricação de chips e contribuindo para que a indústria de semicondutores avance para um nível de processo superior.
Data da publicação: 14 de abril de 2025