Desvendando a “força da rocha” por trás da fabricação de semicondutores – Como os componentes de precisão de granito podem remodelar os limites de precisão da fabricação de chips

A Revolução da Precisão na fabricação de semicondutores: quando o granito encontra a tecnologia de mícrons
1.1 Descobertas inesperadas na ciência dos materiais
De acordo com o relatório SEMI International Semiconductor Association de 2023, 63% das fábricas avançadas do mundo começaram a usar bases de granito em vez das tradicionais plataformas metálicas. Esta pedra natural, originária da condensação de magma nas profundezas da Terra, está reescrevendo a história da fabricação de semicondutores devido às suas propriedades físicas únicas:

Vantagem da inércia térmica: o coeficiente de expansão térmica do granito 4,5×10⁻⁶/℃ é apenas 1/5 do aço inoxidável, e a estabilidade dimensional de ±0,001 mm é mantida no trabalho contínuo da máquina de litografia

Características de amortecimento de vibração: o coeficiente de atrito interno é 15 vezes maior que o do ferro fundido, absorvendo efetivamente a microvibração do equipamento

Natureza de magnetização zero: elimina completamente o erro magnético na medição a laser

1.2 A jornada da metamorfose da mina à fábrica
Tomando como exemplo a base de produção inteligente da ZHHIMG em Shandong, um pedaço de granito bruto precisa passar por:

Usinagem de ultraprecisão: centro de usinagem de ligação de cinco eixos para 200 horas de fresamento contínuo, rugosidade superficial de até Ra0,008μm

Tratamento de envelhecimento artificial: 48 horas de liberação natural do estresse na oficina com temperatura e umidade constantes, o que melhora a estabilidade do produto em 40%.
Em segundo lugar, resolver os seis problemas de precisão da "solução fundamental" da fabricação de semicondutores
2.1 Esquema de redução da taxa de fragmentação de wafers

Demonstração de caso: Após uma fundição de cavacos na Alemanha adotar nossa plataforma de granito flutuante a gás:

Diâmetro da bolacha	redução da taxa de chip	melhoria da planura
12 polegadas	67%	≤0,001 mm
18 polegadas	82%	≤0,0005 mm

2.2 Esquema inovador de precisão de alinhamento litográfico

Sistema de compensação de temperatura: sensor cerâmico incorporado monitora a variável de forma em tempo real e ajusta automaticamente a inclinação da plataforma
Dados medidos: sob a flutuação de 28℃±5℃, a precisão de incorporação flutua menos de 0,12μm