Material – Cerâmica

♦Alumina(Al2O3)

As peças cerâmicas de precisão produzidas pelo ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) podem ser feitas de matérias-primas cerâmicas de alta pureza, 92 ~ 97% de alumina, 99,5% de alumina, > 99,9% de alumina e prensagem isostática a frio CIP.Sinterização de alta temperatura e usinagem de precisão, precisão dimensional de ± 0,001 mm, suavidade de até Ra0,1, temperatura de uso de até 1600 graus.Diferentes cores de cerâmica podem ser feitas de acordo com as necessidades do cliente, como: preto, branco, bege, vermelho escuro, etc. As peças cerâmicas de precisão produzidas por nossa empresa são resistentes a altas temperaturas, corrosão, desgaste e isolamento, e podem ser usado por um longo tempo em alta temperatura, vácuo e ambiente de gás corrosivo.

Amplamente utilizado em uma variedade de equipamentos de produção de semicondutores: Estruturas (suporte de cerâmica), Substrato (base), Braço/Ponte (manipulador), Componentes mecânicos e Rolamento de ar cerâmico.

AL2O3

Aplicação de cerâmica de alumina de alta pureza:
1. Aplicado a equipamentos semicondutores: mandril a vácuo cerâmico, disco de corte, disco de limpeza, mandril cerâmico.
2. Peças de transferência de wafer: mandris de manuseio de wafer, discos de corte de wafer, discos de limpeza de wafer, ventosas de inspeção óptica de wafer.
3. Indústria de display de tela plana LED/LCD: bocal de cerâmica, disco de moagem de cerâmica, LIFT PIN, trilho PIN.
4. Comunicação óptica, indústria solar: tubos cerâmicos, hastes cerâmicas, raspadores cerâmicos de serigrafia de placa de circuito.
5. Peças resistentes ao calor e eletricamente isolantes: rolamentos cerâmicos.
Atualmente, as cerâmicas de óxido de alumínio podem ser divididas em cerâmicas de alta pureza e cerâmicas comuns.A série de cerâmica de óxido de alumínio de alta pureza refere-se ao material cerâmico que contém mais de 99,9% de Al₂O₃.Devido à sua temperatura de sinterização de até 1650 - 1990°C e seu comprimento de onda de transmissão de 1 ~ 6μm, geralmente é processado em vidro fundido em vez de cadinho de platina: que pode ser usado como tubo de sódio devido à sua transmitância de luz e resistência à corrosão metal alcalino.Na indústria eletrônica, pode ser usado como material isolante de alta frequência para substratos IC.De acordo com diferentes conteúdos de óxido de alumínio, a série de cerâmica de óxido de alumínio comum pode ser dividida em 99 cerâmicas, 95 cerâmicas, 90 cerâmicas e 85 cerâmicas.Algumas vezes, as cerâmicas com 80% ou 75% de óxido de alumínio também são classificadas como séries cerâmicas comuns de óxido de alumínio.Entre eles, o material cerâmico de óxido de alumínio 99 é usado para produzir cadinho de alta temperatura, tubo de forno à prova de fogo e materiais especiais resistentes ao desgaste, como rolamentos cerâmicos, vedações cerâmicas e placas de válvulas.A cerâmica de alumínio 95 é usada principalmente como peça resistente ao desgaste resistente à corrosão.A cerâmica 85 é frequentemente misturada em algumas propriedades, melhorando assim o desempenho elétrico e a resistência mecânica.Pode usar molibdênio, nióbio, tântalo e outros selos de metal, e alguns são usados ​​como dispositivos elétricos de vácuo.

 

Item de qualidade (valor representativo) Nome do Produto AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Composição química Produto de fácil sinterização com baixo teor de sódio H₂O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Lol % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Diâmetro de partícula médio (MT-3300, método de análise a laser) mm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α Tamanho do Cristal mm 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Densidade de Formação** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2,35 2,57 2,56
Densidade de Sinterização** g/cm³ 3,88 3,93 3,94 3,93 3,88 3,77 3,22
Taxa de Encolhimento da Linha de Sinterização** % 17 17 18 18 15 12 7

* O MgO não está incluído no cálculo da pureza do Al₂O₃.
* Sem pó de incrustação 29.4MPa (300kg/cm²), temperatura de sinterização é de 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Adicione 0,05 ~ 0,1% MgO, a sinterabilidade é excelente, por isso é aplicável a cerâmicas de óxido de alumínio com pureza superior a 99%.
AES-22S: Caracterizado pela alta densidade de formação e baixa taxa de encolhimento da linha de sinterização, é aplicável à fundição de forma deslizante e outros produtos de grande escala com precisão dimensional necessária.
AES-23 / AES-31-03: Possui maior densidade de conformação, tixotropia e menor viscosidade que o AES-22S.o primeiro é usado para cerâmica enquanto o segundo é usado como redutor de água para materiais à prova de fogo, ganhando popularidade.

♦ Características do Carboneto de Silício (SiC)

Características gerais Pureza dos componentes principais (% em peso) 97
Cor Preto
Densidade (g/cm³) 3.1
Absorção de água (%) 0
Características mecânicas Resistência à flexão (MPa) 400
Módulo jovem (GPa) 400
Dureza Vickers (GPa) 20
Características Térmicas Temperatura máxima de operação (°C) 1600
Coeficiente de expansão térmica RT ~ 500°C 3.9
(1/°C x 10-6) RT ~ 800°C 4.3
Condutividade térmica (W/m x K) 130 110
Resistência ao choque térmico ΔT (°C) 300
características elétricas Resistividade volumétrica 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
Constante dielétrica 10 GHz -
Perda dielétrica (x 10-4) -
Fator Q (x 104) -
Tensão de ruptura dielétrica (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦ Cerâmica de Nitreto de Silício

Material Unidade Si₃N₄
Método de Sinterização - Pressão de Gás Sinterizado
Densidade g/cm³ 3,22
Cor - Cinza escuro
Taxa de Absorção de Água % 0
Módulo Jovem Gpa 290
Dureza Vickers Gpa 18 - 20
Força compressiva Mpa 2200
Força de flexão Mpa 650
Condutividade térmica W/mK 25
Resistência ao choque térmico Δ (°C) 450 - 650
Temperatura Máxima de Operação °C 1200
Resistividade volumétrica Ω·cm > 10 ^ 14
Constante dielétrica - 8.2
Rigidez dielétrica kV/mm 16