♦Alumina(Al2O3)
As peças cerâmicas de precisão produzidas pelo ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) podem ser feitas de matérias-primas cerâmicas de alta pureza, 92 ~ 97% de alumina, 99,5% de alumina, > 99,9% de alumina e prensagem isostática a frio CIP.Sinterização de alta temperatura e usinagem de precisão, precisão dimensional de ± 0,001 mm, suavidade de até Ra0,1, temperatura de uso de até 1600 graus.Diferentes cores de cerâmica podem ser feitas de acordo com as necessidades do cliente, como: preto, branco, bege, vermelho escuro, etc. As peças cerâmicas de precisão produzidas por nossa empresa são resistentes a altas temperaturas, corrosão, desgaste e isolamento, e podem ser usado por um longo tempo em alta temperatura, vácuo e ambiente de gás corrosivo.
Amplamente utilizado em uma variedade de equipamentos de produção de semicondutores: Estruturas (suporte de cerâmica), Substrato (base), Braço/Ponte (manipulador), Componentes mecânicos e Rolamento de ar cerâmico.
Aplicação de cerâmica de alumina de alta pureza:
1. Aplicado a equipamentos semicondutores: mandril a vácuo cerâmico, disco de corte, disco de limpeza, mandril cerâmico.
2. Peças de transferência de wafer: mandris de manuseio de wafer, discos de corte de wafer, discos de limpeza de wafer, ventosas de inspeção óptica de wafer.
3. Indústria de display de tela plana LED/LCD: bocal de cerâmica, disco de moagem de cerâmica, LIFT PIN, trilho PIN.
4. Comunicação óptica, indústria solar: tubos cerâmicos, hastes cerâmicas, raspadores cerâmicos de serigrafia de placa de circuito.
5. Peças resistentes ao calor e eletricamente isolantes: rolamentos cerâmicos.
Atualmente, as cerâmicas de óxido de alumínio podem ser divididas em cerâmicas de alta pureza e cerâmicas comuns.A série de cerâmica de óxido de alumínio de alta pureza refere-se ao material cerâmico que contém mais de 99,9% de Al₂O₃.Devido à sua temperatura de sinterização de até 1650 - 1990°C e seu comprimento de onda de transmissão de 1 ~ 6μm, geralmente é processado em vidro fundido em vez de cadinho de platina: que pode ser usado como tubo de sódio devido à sua transmitância de luz e resistência à corrosão metal alcalino.Na indústria eletrônica, pode ser usado como material isolante de alta frequência para substratos IC.De acordo com diferentes conteúdos de óxido de alumínio, a série de cerâmica de óxido de alumínio comum pode ser dividida em 99 cerâmicas, 95 cerâmicas, 90 cerâmicas e 85 cerâmicas.Algumas vezes, as cerâmicas com 80% ou 75% de óxido de alumínio também são classificadas como séries cerâmicas comuns de óxido de alumínio.Entre eles, o material cerâmico de óxido de alumínio 99 é usado para produzir cadinho de alta temperatura, tubo de forno à prova de fogo e materiais especiais resistentes ao desgaste, como rolamentos cerâmicos, vedações cerâmicas e placas de válvulas.A cerâmica de alumínio 95 é usada principalmente como peça resistente ao desgaste resistente à corrosão.A cerâmica 85 é frequentemente misturada em algumas propriedades, melhorando assim o desempenho elétrico e a resistência mecânica.Pode usar molibdênio, nióbio, tântalo e outros selos de metal, e alguns são usados como dispositivos elétricos de vácuo.
Item de qualidade (valor representativo) | Nome do Produto | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Composição química Produto de fácil sinterização com baixo teor de sódio | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Diâmetro de partícula médio (MT-3300, método de análise a laser) | mm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Tamanho do Cristal | mm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Densidade de Formação** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Densidade de Sinterização** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3,22 | |
Taxa de Encolhimento da Linha de Sinterização** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* O MgO não está incluído no cálculo da pureza do Al₂O₃.
* Sem pó de incrustação 29.4MPa (300kg/cm²), temperatura de sinterização é de 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Adicione 0,05 ~ 0,1% MgO, a sinterabilidade é excelente, por isso é aplicável a cerâmicas de óxido de alumínio com pureza superior a 99%.
AES-22S: Caracterizado pela alta densidade de formação e baixa taxa de encolhimento da linha de sinterização, é aplicável à fundição de forma deslizante e outros produtos de grande escala com precisão dimensional necessária.
AES-23 / AES-31-03: Possui maior densidade de conformação, tixotropia e menor viscosidade que o AES-22S.o primeiro é usado para cerâmica enquanto o segundo é usado como redutor de água para materiais à prova de fogo, ganhando popularidade.
♦ Características do Carboneto de Silício (SiC)
Características gerais | Pureza dos componentes principais (% em peso) | 97 | |
Cor | Preto | ||
Densidade (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorção de água (%) | 0 | ||
Características mecânicas | Resistência à flexão (MPa) | 400 | |
Módulo jovem (GPa) | 400 | ||
Dureza Vickers (GPa) | 20 | ||
Características Térmicas | Temperatura máxima de operação (°C) | 1600 | |
Coeficiente de expansão térmica | RT ~ 500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT ~ 800°C | 4.3 | |
Condutividade térmica (W/m x K) | 130 110 | ||
Resistência ao choque térmico ΔT (°C) | 300 | ||
características elétricas | Resistividade volumétrica | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Constante dielétrica | 10 GHz | - | |
Perda dielétrica (x 10-4) | - | ||
Fator Q (x 104) | - | ||
Tensão de ruptura dielétrica (KV/mm) | - |
♦ Cerâmica de Nitreto de Silício
Material | Unidade | Si₃N₄ |
Método de Sinterização | - | Pressão de Gás Sinterizado |
Densidade | g/cm³ | 3,22 |
Cor | - | Cinza escuro |
Taxa de Absorção de Água | % | 0 |
Módulo Jovem | Gpa | 290 |
Dureza Vickers | Gpa | 18 - 20 |
Força compressiva | Mpa | 2200 |
Força de flexão | Mpa | 650 |
Condutividade térmica | W/mK | 25 |
Resistência ao choque térmico | Δ (°C) | 450 - 650 |
Temperatura Máxima de Operação | °C | 1200 |
Resistividade volumétrica | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Constante dielétrica | - | 8.2 |
Rigidez dielétrica | kV/mm | 16 |