Nas áreas de fabricação de precisão e pesquisa científica, a planura das plataformas de precisão de granito é um indicador fundamental para garantir a precisão do equipamento. A seguir, apresentamos uma introdução detalhada a diversos métodos de detecção convencionais e seus procedimentos operacionais.
I. Método de detecção por interferômetro a laser
O interferômetro a laser é a ferramenta preferida para detecção de planicidade de alta precisão. Tomemos como exemplo o interferômetro a laser ZYGO GPI XP, cuja resolução pode chegar a 0,1 nm. Ao realizar a detecção, alinhe primeiro a fonte de luz do interferômetro com a plataforma e divida a superfície da plataforma em áreas de grade de 50 mm × 50 mm. Posteriormente, os dados da franja de interferência foram coletados ponto a ponto, e os dados foram ajustados e analisados usando o polinômio de Zernike para obter o erro de planicidade. Este método é aplicável a plataformas de alta precisão e pode detectar erros de planicidade ≤ 0,5 μm/m². É comumente utilizado na detecção de máquinas de fotolitografia e plataformas de máquinas de medição de três coordenadas de ponta.
Ii. Método de arranjo de níveis eletrônicos
A detecção por matriz de nível eletrônico é simples de operar e altamente eficiente. O nível eletrônico TESA A2 (com resolução de 0,01 μm/m) foi selecionado e disposto em uma matriz 9x9 ao longo da direção do eixo X/Y da plataforma. Ao coletar sincronizadamente os dados de inclinação de cada nível e, em seguida, utilizar o método dos mínimos quadrados para o cálculo, o valor de planicidade pode ser obtido com precisão. Este método pode identificar com eficácia as condições locais de concavidade e convexidade da plataforma. Por exemplo, uma flutuação de 0,2 μm dentro de uma faixa de 50 mm também pode ser detectada, o que é adequado para detecção rápida em produção em massa.
Iii. Método de cristal plano óptico
O método do cristal óptico plano é adequado para a detecção de plataformas de pequenas áreas. Fixe o cristal óptico plano firmemente à superfície a ser testada na plataforma e observe as franjas de interferência formadas entre elas sob a iluminação de uma fonte de luz monocromática (como uma lâmpada de sódio). Se as faixas forem retas e paralelas, isso indica boa planicidade. Se aparecerem faixas curvas, calcule o erro de planicidade com base no grau de curvatura da faixa. Cada faixa curva representa uma diferença de altura de 0,316 μm, e os dados de planicidade podem ser obtidos por meio de conversão simples.
Quatro. Método de inspeção da máquina de medição de três coordenadas
A máquina de medição de três coordenadas pode realizar medições de alta precisão no espaço tridimensional. Coloque a plataforma de granito sobre a mesa de trabalho da máquina de medição e use a sonda para coletar dados uniformemente de vários pontos de medição na superfície da plataforma. O sistema da máquina de medição processa e analisa esses dados para gerar um relatório de planicidade da plataforma. Este método não apenas detecta a planicidade, mas também obtém outros parâmetros geométricos da plataforma simultaneamente, sendo adequado para a detecção abrangente de grandes plataformas de granito.
Dominar esses métodos de detecção pode ajudar você a avaliar com precisão a planura da plataforma de precisão de granito e fornecer uma garantia confiável para a operação estável do equipamento de precisão.
Data de publicação: 29 de maio de 2025