Nos campos da manufatura de precisão e da pesquisa científica, a planicidade de plataformas de granito é um indicador fundamental para garantir a precisão dos equipamentos. A seguir, apresentamos uma introdução detalhada a alguns dos principais métodos de detecção e seus respectivos procedimentos operacionais.
I. Método de detecção por interferômetro a laser
O interferômetro a laser é a ferramenta preferida para detecção de planicidade de alta precisão. Tomando como exemplo o interferômetro a laser ZYGO GPI XP, sua resolução pode atingir 0,1 nm. Ao realizar a detecção, primeiro alinha-se a fonte de luz do interferômetro com a plataforma e divide-se a superfície da plataforma em áreas de grade de 50 mm × 50 mm. Em seguida, os dados das franjas de interferência são coletados ponto a ponto, e os dados são ajustados e analisados usando o polinômio de Zernike para obter o erro de planicidade. Este método é aplicável a plataformas de alta precisão e pode detectar erros de planicidade de ≤ 0,5 μm/m². É comumente usado na detecção de máquinas de fotolitografia e plataformas de máquinas de medição tridimensional de alta precisão.
II. Método de matriz de níveis eletrônicos
A detecção por matriz de níveis eletrônicos é simples de operar e altamente eficiente. O nível eletrônico TESA A2 (com resolução de 0,01 μm/m) foi selecionado e disposto em uma matriz 9×9 ao longo dos eixos X/Y da plataforma. Coletando-se os dados de inclinação de cada nível de forma síncrona e utilizando o método dos mínimos quadrados para o cálculo, obtém-se com precisão o valor de planicidade. Este método permite identificar eficazmente as condições de concavidade e convexidade locais da plataforma. Por exemplo, é possível detectar uma flutuação de 0,2 μm em um intervalo de 50 mm, o que é adequado para detecção rápida em produção em massa.
III. Método do cristal plano óptico
O método do cristal plano óptico é adequado para a detecção de plataformas de pequena área. Fixe o cristal plano óptico firmemente à superfície a ser testada na plataforma e observe as franjas de interferência formadas entre elas sob a iluminação de uma fonte de luz monocromática (como uma lâmpada de sódio). Se as faixas forem retas e paralelas, isso indica boa planicidade. Se faixas curvas aparecerem, calcule o erro de planicidade com base no grau de curvatura da faixa. Cada faixa curva representa uma diferença de altura de 0,316 μm, e os dados de planicidade podem ser obtidos por meio de uma conversão simples.
Quatro. Método de inspeção com máquina de medição tridimensional.
A máquina de medição tridimensional permite medições de alta precisão no espaço tridimensional. Posicione a plataforma de granito sobre a mesa de trabalho da máquina de medição e utilize a sonda para coletar dados uniformemente de múltiplos pontos de medição na superfície da plataforma. O sistema da máquina de medição processa e analisa esses dados para gerar um relatório de planicidade da plataforma. Este método não só detecta a planicidade, como também obtém simultaneamente outros parâmetros geométricos da plataforma, sendo adequado para a detecção abrangente de grandes plataformas de granito.
Dominar esses métodos de detecção pode ajudá-lo a avaliar com precisão a planicidade da plataforma de granito e fornecer uma garantia confiável para a operação estável de equipamentos de precisão.
Data da publicação: 29 de maio de 2025