Na área de ranhuramento de wafers semicondutores, a precisão é a salvação. Uma base de granito discreta pode representar um salto qualitativo no desempenho do equipamento de ranhuramento! Que "superpoderes" ela realmente esconde? Por que se diz que escolher a base de granito certa significa que você já alcançou metade do caminho? Hoje, vamos revelar isso em detalhes!
I. Resistência Inerente: As Três "Vantagens Inerentes" do Granito
A resistência sísmica é tão estável quanto o Monte Tai
O granito tem uma densidade de 2.800 a 3.100 kg/m³ e sua estrutura é tão densa quanto uma "fortaleza de pedra". No ambiente de vibração de alta frequência da ranhura de wafer (o equipamento ranhura mais de 100 vezes por minuto), ele pode absorver mais de 90% da energia de vibração, assim como equipar o equipamento com a "tecnologia preta de absorção de choque"! Dados medidos por uma determinada fábrica de cavacos mostram que, após o uso da base de granito, a amplitude de jitter da cabeça de corte de ranhura diminuiu de 15 μm para 3 μm, e as bordas das microranhuras esculpidas são tão lisas quanto um espelho.
2. “Constituição resistente ao calor” Sem medo de diferenças de temperatura
Materiais comuns "expandem e deformam" quando aquecidos e "contraem e deformam" quando resfriados, mas o coeficiente de expansão térmica do granito é tão baixo quanto 4,8 × 10⁻⁶/°C, o que representa apenas 1/5 do dos metais! Mesmo que a temperatura na oficina flutue bruscamente em 10°C em 24 horas, sua deformação é inferior a 0,01 mm e pode ser praticamente ignorada. Isso significa que, independentemente da alternância entre dia e noite ou da operação prolongada e geração de calor do equipamento, a base de granito pode manter a posição da ranhura "imóvel" o tempo todo.
3. Resistência ao desgaste indestrutível
A dureza Mohs do granito atinge 6 a 7, comparável à do quartzo, e sua resistência ao desgaste é três vezes maior que a do aço comum! Sob o atrito de alta frequência e longo prazo da ranhura da lâmina, a superfície da base praticamente não se desgasta. Após uma fundição utilizar bases de granito por cinco anos, a planicidade ainda se manteve dentro de ±0,5 μm/m após inspeção, e a precisão da ranhura permaneceu consistente, economizando uma quantia significativa de custos com calibração e substituição de equipamentos.
Ii. Adaptação precisa: como o granito atende aos diferentes requisitos de ranhura?
Cena 1: Ranhuras ultrafinas (microranhuras menores que 10μm)
Requisito: Planicidade máxima
Vantagens do granito: Através do processamento de alta precisão com engate de cinco eixos, a planura pode ser controlada em até ±0,5 μm/m, o que significa que, em um comprimento de 1 metro, o erro de altura é 200 vezes menor que um fio de cabelo humano! Certifique-se de que a distância entre a cabeça de corte e o wafer seja sempre precisa e que o erro de largura das microranhuras esculpidas não exceda ±0,1 μm.
Cena 2: Ranhuras de produção em massa de alta velocidade
Requisito: Desempenho de super absorção de choque
Vantagens do granito: Suas propriedades naturais de amortecimento interno podem atenuar rapidamente a vibração do equipamento. Depois que uma determinada fábrica de painéis introduziu bases de granito, a velocidade de ranhuramento aumentou 40% e a taxa de rendimento saltou de 85% para 96%, alcançando o dobro da eficiência e qualidade da produção!
Cena 3: Ranhuramento em ambiente complexo (alta temperatura/corrosão)
Requisitos: Resistência a altas temperaturas e resistência à corrosão
Vantagens do granito: Estabilidade química extremamente forte, resistente à corrosão ácida e alcalina; possui baixo coeficiente de expansão térmica e não se deforma mesmo em altas temperaturas locais (150°C) durante a ranhura a laser. Uma base de granito usada em um laboratório com solução corrosiva de ranhuramento está em uso contínuo há três anos e a superfície da base permanece intacta.
III. Como escolher uma base de granito "genuinamente de alta qualidade"?
Observe a densidade: Granito com densidade ≥2800kg/m³ tem uma estrutura mais compacta.
Verifique as certificações: certifique-se de reconhecer certificações oficiais, como ISO 9001 e CNAS, para garantir a qualidade.
Dados de verificação: O fabricante deve fornecer relatórios de teste sobre o coeficiente de expansão térmica (< 8×10⁻⁶/℃) e planura (±0,5μm/m).
Teste no local: bata levemente na base. Um som claro indica que não há rachaduras no interior. Se a superfície de toque for lisa como um espelho, isso indica alta precisão de processamento.
Conclusão: Escolha o granito certo e ganhe metade da batalha dos sulcos!
Da resistência ao choque e ao calor à resistência ao desgaste, a base de granito, com sua "beleza natural" e "resistência extrema", tornou-se a parceira de ouro para equipamentos de ranhuramento de wafers. Na era atual da fabricação de semicondutores, que busca precisão em nanoescala, uma base de granito de alta qualidade não é apenas um investimento em equipamento, mas também uma garantia de longo prazo para a eficiência da produção e a qualidade do produto!
Horário da publicação: 17/06/2025