Na oficina de fabricação de semicondutores, os requisitos do processo de fabricação de chips em relação às condições ambientais e à precisão do equipamento são extremos, e qualquer pequeno desvio pode levar a uma queda significativa no rendimento do chip. A plataforma de movimentação de pórtico de precisão XYZT utiliza componentes de granito para colaborar com outras partes da plataforma e construir uma base sólida para alcançar a precisão em nanoescala.
Excelentes propriedades de bloqueio de vibração
Na oficina de fabricação de semicondutores, a operação de equipamentos periféricos e a movimentação de pessoas podem causar vibrações. A estrutura interna dos componentes de granito é densa e uniforme, com características naturais de alto amortecimento, como uma eficiente "barreira" contra vibrações. Quando a vibração externa é transmitida à plataforma XYZT, o componente de granito pode atenuar efetivamente mais de 80% da energia vibratória e reduzir a interferência da vibração na precisão do movimento da plataforma. Ao mesmo tempo, a plataforma é equipada com um sistema de guia de flutuação de ar de alta precisão, que funciona em conjunto com os componentes de granito. O guia de flutuação de ar utiliza a película de gás estável formada por gás de alta pressão para realizar o movimento de suspensão sem contato das partes móveis da plataforma e reduzir a pequena vibração causada pelo atrito mecânico. Juntos, os dois garantem que a precisão de posicionamento da plataforma seja sempre mantida em nível nanométrico em processos-chave, como litografia e gravação de chips, e evitam o desvio dos padrões do circuito do chip causado pela vibração.
Excelente estabilidade térmica
A flutuação de temperatura e umidade na oficina tem uma grande influência na precisão do equipamento de fabricação de chips. O coeficiente de expansão térmica do granito é muito baixo, geralmente em 5-7 ×10⁻⁶/℃, o tamanho é quase inalterado quando a temperatura muda. Mesmo que a diferença de temperatura entre o dia e a noite na oficina ou a produção de calor do equipamento faça com que a temperatura ambiente flutue, os componentes de granito podem permanecer estáveis para evitar a deformação da plataforma devido à expansão e contração térmicas. Ao mesmo tempo, o sistema inteligente de controle de temperatura equipado com a plataforma monitora a temperatura ambiente em tempo real, ajusta automaticamente o ar condicionado e o equipamento de dissipação de calor e mantém a temperatura da oficina em 20 ° C ± 1 ° C. Combinado com as vantagens da estabilidade térmica do granito, garante que a plataforma em operação de longo prazo, a precisão do movimento de cada eixo sempre atenda aos padrões de precisão nanométrica de fabricação de chips, para garantir que o tamanho do padrão de litografia do chip seja preciso e a profundidade de gravação seja uniforme.
Atender às necessidades de um ambiente limpo
A oficina de fabricação de semicondutores precisa manter um alto grau de limpeza para evitar que partículas de poeira contaminem o chip. O granito em si não produz poeira e a superfície é lisa, dificultando a absorção de poeira. A plataforma como um todo adota um design de estrutura totalmente fechada ou semifechada para reduzir a entrada de poeira externa. O sistema de circulação de ar interno está conectado ao sistema de ar condicionado limpo da oficina para garantir que a limpeza do ar interno atinja o nível exigido pela fabricação de chips. Nesse ambiente limpo, os componentes de granito não afetarão o desempenho devido à erosão de poeira, e componentes-chave, como sensores e motores de alta precisão da plataforma, também podem operar de forma estável, fornecendo garantia contínua e confiável de precisão em nanoescala para a fabricação de chips e ajudando a indústria de semicondutores a avançar para um nível de processo mais alto.
Horário da publicação: 14/04/2025