No mundo preciso da fabricação de semicondutores, os testes não destrutivos de wafers são um elo fundamental para garantir a qualidade dos chips. A base de granito, aparentemente insignificante, é, na verdade, o "herói anônimo" que determina a precisão da detecção. Como isso afeta os resultados dos testes? Este artigo conduzirá uma análise aprofundada de dimensões como propriedades do material e projeto estrutural.
1. Fundação estável: As vantagens naturais do granito estabelecem uma base sólida para precisão
1. Excelente desempenho sísmico
Durante a operação do equipamento de ensaio não destrutivo de wafer, a rotação do motor e o movimento dos componentes mecânicos geram vibrações. Se essas vibrações não forem suprimidas de forma eficaz, interferirão seriamente na precisão do ensaio. O interior do granito é intimamente entrelaçado com cristais minerais como quartzo e feldspato. Sua estrutura única confere-lhe uma capacidade natural de absorção de vibração, capaz de absorver mais de 90% da energia de vibração do equipamento. Os dados de medição reais de um determinado fabricante de semicondutores mostram que, após o uso da base de granito, a amplitude de vibração do equipamento de detecção foi reduzida de 12 μm para 2 μm, evitando efetivamente o desvio do sinal de detecção causado pela vibração.
2. Coeficiente de expansão térmica extremamente baixo
Durante o processo de detecção, fatores como aquecimento do equipamento e mudanças na temperatura ambiente afetarão a estabilidade da base da máquina. Materiais comuns expandem significativamente quando aquecidos, mas o coeficiente de expansão térmica do granito é de apenas 1/5 do do aço. Mesmo que a temperatura ambiente flutue em 10°C, sua deformação pode ser ignorada. Isso permite que a base de granito forneça uma plataforma de referência estável para o equipamento de inspeção, garantindo que a posição relativa entre a sonda de inspeção e o wafer permaneça precisa o tempo todo e evitando erros de inspeção causados por deformação térmica.
Em segundo lugar, design preciso: a otimização estrutural aumenta ainda mais a confiabilidade da detecção
Processamento de alta precisão e garantia de planura
A base de granito de alta qualidade é processada por avançada tecnologia CNC de ligação de cinco eixos, com planicidade de ±0,5 μm/m, proporcionando uma referência de instalação ultraplana para equipamentos de inspeção. Na inspeção de wafers, a verticalidade e o nivelamento da sonda de inspeção são cruciais para os resultados da inspeção. Uma base de granito de alta precisão pode garantir o posicionamento preciso da sonda, tornando os dados de inspeção mais precisos e confiáveis.
2. Adaptação estrutural personalizada
As bases das máquinas de granito podem ser personalizadas para diferentes requisitos de equipamentos e processos de ensaios não destrutivos de wafers. Por exemplo, para atender aos requisitos de equipamentos de inspeção óptica para reflexão de luz, a superfície da base da máquina pode receber um tratamento especial; para atender aos requisitos de instalação de equipamentos de ensaio ultrassônico, a base pode ser pré-fabricada com furos de instalação precisos e bandejas de cabos, permitindo uma instalação rápida e precisa do equipamento e reduzindo desvios de detecção causados por erros de instalação.
III. Estabilidade a longo prazo: Reduzir a perda de precisão causada pela manutenção do equipamento
O granito possui alta dureza e forte resistência ao desgaste, com uma dureza Mohs de 6 a 7, o que representa três vezes a resistência ao desgaste do aço comum. Durante operações de inspeção de longo prazo, a superfície da base da máquina não é propensa a desgaste e pode sempre manter um bom estado de precisão. Em contraste, bases feitas de outros materiais podem causar alterações na referência de instalação do equipamento devido ao desgaste, afetando assim a precisão da detecção e exigindo calibração e manutenção frequentes. A longa vida útil e a alta estabilidade da base de granito reduzem efetivamente a frequência de manutenção do equipamento e o risco de perda de precisão que pode ocorrer durante o processo de manutenção.
Da resistência ao choque e ao calor ao design preciso, cada característica da base de granito garante a precisão dos testes não destrutivos de wafers. Na era atual da fabricação de semicondutores, que busca a máxima precisão, escolher uma base de granito de alta qualidade é como adicionar uma camada sólida de segurança à precisão e confiabilidade dos resultados dos testes.
Horário da publicação: 18/06/2025