No campo da fabricação de semicondutores, a precisão submicrônica é a chave para garantir o desempenho do chip, e a base de granito (ZHHIMG®), com suas propriedades de material, processamento preciso e design inovador, tornou-se a principal garantia para atingir essa precisão.
Do ponto de vista das propriedades do material, o granito preto selecionado pela ZHHIMG® possui uma densidade de aproximadamente 3100 kg/m³, com uma estrutura interna densa. Essa alta densidade lhe confere excelente estabilidade e rigidez. Durante a operação de equipamentos semicondutores, a rotação dos motores e o movimento dos componentes mecânicos internos geram vibrações. A base de granito pode absorver efetivamente mais de 90% da energia vibratória, reduzindo significativamente o impacto da vibração na precisão do equipamento. Além disso, seu baixíssimo coeficiente de expansão térmica permite que sua deformação permaneça dentro de uma faixa muito estreita quando a temperatura ambiente oscila, fornecendo uma base de suporte estável para equipamentos semicondutores e evitando o deslocamento dos componentes do equipamento devido a mudanças de temperatura, o que poderia afetar a precisão.
Em termos de processamento e fabricação, a fábrica da ZHHIMG® utiliza equipamentos de processamento avançados internacionais e possui quatro retificadoras superdimensionadas (cada uma custa mais de US$ 500.000), capazes de realizar retificação de alta precisão em granito. Graças à usinagem CNC de cinco eixos e outros processos, a planura da base da máquina pode atingir a escala nanométrica, proporcionando uma superfície de referência ultraplana para a instalação de equipamentos semicondutores e garantindo o posicionamento preciso de cada componente do equipamento. Além disso, a oficina com temperatura e umidade constantes (cobrindo uma área de 10.000 metros quadrados) proporciona um ambiente estável para o processamento. As valas antivibração de 500 mm de largura e 2.000 mm de profundidade ao redor, bem como os guindastes silenciosos, isolam eficazmente a interferência de vibração externa e garantem a precisão do processamento da base da máquina.
Além disso, o ZHHIMG® também possui uma forte capacidade de personalização. Para atender aos requisitos especiais de equipamentos semicondutores, furos de instalação precisos e bandejas de cabos podem ser pré-fabricados para alcançar a compatibilidade perfeita entre o equipamento e a base. Ao mesmo tempo, em combinação com equipamentos de metrologia e teste de classe mundial, como o medidor de minutos Mahr alemão (com precisão de 0,5 µm) e o nível eletrônico WYLER suíço, a base da máquina é rigorosamente inspecionada e calibrada para garantir que cada base de máquina atenda aos rigorosos requisitos de precisão de nível submicrométrico para equipamentos semicondutores.
É justamente a combinação dessas vantagens que torna a base de granito ZHHIMG® uma escolha confiável para atingir precisão submicrônica em equipamentos semicondutores, ajudando a fabricação de semicondutores a avançar para campos de maior precisão.
Horário da publicação: 18/06/2025