No campo da fabricação de semicondutores, a precisão submicrométrica é fundamental para garantir o desempenho do chip, e a base de granito (ZHHIMG®), com suas propriedades de material, processamento preciso e design inovador, tornou-se a principal garantia para alcançar essa precisão.
Do ponto de vista das propriedades do material, o granito preto selecionado pela ZHHIMG® possui uma densidade de aproximadamente 3100 kg/m³, com uma estrutura interna densa. Essa alta densidade confere-lhe excelente estabilidade e rigidez. Durante a operação de equipamentos semicondutores, a rotação dos motores e o movimento dos componentes mecânicos internos geram vibrações. A base de granito pode absorver com eficácia mais de 90% da energia vibratória, reduzindo significativamente o impacto da vibração na precisão do equipamento. Além disso, seu baixíssimo coeficiente de expansão térmica permite que sua deformação permaneça dentro de uma faixa muito pequena quando a temperatura ambiente flutua, proporcionando uma base de suporte estável para os equipamentos semicondutores e evitando o deslocamento dos componentes devido a variações de temperatura, o que poderia afetar a precisão.
Em termos de processamento e fabricação, a fábrica da ZHHIMG® adota equipamentos de processamento avançados internacionalmente e possui quatro retificadoras superdimensionadas (cada máquina custa mais de 500.000 dólares), capazes de realizar retificação de alta precisão em granito. Através de usinagem CNC de cinco eixos e outros processos, a planicidade da base da máquina atinge o nível nanométrico, proporcionando uma superfície de referência ultraplana para a instalação de equipamentos semicondutores e garantindo o posicionamento preciso de cada componente do equipamento. Além disso, a oficina com temperatura e umidade controladas (com uma área de 10.000 metros quadrados) proporciona um ambiente estável para o processamento. As valas antivibração de 500 mm de largura e 2000 mm de profundidade ao redor da oficina, bem como os guindastes silenciosos, isolam eficazmente a interferência de vibrações externas e garantem a precisão do processamento da base da máquina.
Além disso, a ZHHIMG® também possui uma forte capacidade de personalização. Para os requisitos especiais de equipamentos semicondutores, furos de instalação precisos e bandejas de cabos podem ser pré-fabricados para alcançar perfeita compatibilidade entre o equipamento e a base. Ao mesmo tempo, em combinação com equipamentos de metrologia e teste de classe mundial, como o medidor de precisão Mahr alemão (com precisão de 0,5 µm) e o nível eletrônico WYLER suíço, a base da máquina é rigorosamente inspecionada e calibrada para garantir que cada base atenda aos rigorosos requisitos de precisão em nível submicrométrico dos equipamentos semicondutores.
É precisamente a combinação dessas vantagens que torna a base de granito ZHHIMG® uma escolha confiável para alcançar precisão submicrométrica em equipamentos semicondutores, ajudando a fabricação de semicondutores a avançar em direção a níveis de precisão cada vez maiores.
Data da publicação: 18/06/2025