INa indústria de fabricação de semicondutores, a precisão dos equipamentos de inspeção de wafers é crucial para garantir a qualidade dos circuitos integrados. Bases de granito de alta precisão, como as fornecidas pela ZHHIMG®, desempenham um papel vital na melhoria do desempenho desses equipamentos. Veja como elas fazem a diferença.
Estabilidade Dimensional Excepcional: O granito possui um coeficiente de expansão térmica extremamente baixo, em torno de (4–8)×10⁻⁶/℃, significativamente menor do que muitos metais. No ambiente rigorosamente controlado das fábricas de semicondutores, onde até mesmo pequenas flutuações de temperatura podem causar erros de medição, as bases de granito das máquinas permanecem estáveis. Essa estabilidade garante que o posicionamento dos componentes nos equipamentos de inspeção de wafers permaneça preciso, evitando quaisquer desvios induzidos termicamente que possam afetar a precisão dos resultados da inspeção.
Amortecimento de vibração superior: Os pisos de produção são frequentemente sujeitos a vibrações provenientes de diversas fontes. As propriedades de amortecimento inerentes ao granito, com uma taxa de amortecimento de 0,05 a 0,1, absorvem e dissipam essas vibrações com eficácia. Para inspeção de wafers
Na microscopia eletrônica de varredura (MEV), que exige imagens de alta resolução e leituras precisas dos sensores, a redução de vibrações proporcionada pelas bases de granito é inestimável. Ela minimiza a interferência que poderia borrar as imagens ou distorcer os dados dos sensores, permitindo que o equipamento capture informações claras e precisas sobre a superfície e a estrutura interna do wafer.
Alta Rigidez e Resistência ao Desgaste: Com uma densidade de aproximadamente 3100 kg/m³, as bases de granito da ZHHIMG® oferecem rigidez notável. Elas suportam os componentes pesados de equipamentos de inspeção de wafers sem deformar, mantendo o alinhamento dos sistemas ópticos e mecânicos. Além disso, a alta dureza do granito (escala Mohs 6-7) e a excelente resistência ao desgaste garantem que a superfície da base permaneça plana e lisa ao longo do tempo. Essa consistência é essencial para a precisão a longo prazo, pois qualquer desgaste ou deformação na base pode degradar gradualmente a precisão do equipamento.
Inércia química: A fabricação de semicondutores envolve a exposição a diversos produtos químicos. A inércia química do granito o torna resistente à corrosão causada por essas substâncias. Essa propriedade protege a integridade da base da máquina, prevenindo danos induzidos por produtos químicos que poderiam afetar a estabilidade e a precisão do equipamento de inspeção.
Em conclusão, as bases de granito de alta precisão para máquinas não são apenas um componente, mas sim um elemento fundamental para alcançar os rigorosos requisitos de precisão dos equipamentos de inspeção de wafers. Ao escolher bases de granito para máquinas, opte por fornecedores confiáveis como a ZHHIMG®. Com múltiplas certificações e um compromisso com a qualidade, a ZHHIMG® garante que cada base de granito para máquinas ofereça a confiabilidade e o desempenho necessários para a fabricação avançada de semicondutores.
Data da publicação: 03/06/2025