INa indústria de fabricação de semicondutores, a precisão dos equipamentos de inspeção de wafers é crucial para garantir a qualidade dos circuitos integrados. Bases de máquinas de granito de alta precisão, como as fornecidas pela ZHHIMG®, desempenham um papel vital no aprimoramento do desempenho desses equipamentos. Veja como elas fazem a diferença.
Estabilidade Dimensional Excepcional: O granito apresenta um coeficiente de expansão térmica extremamente baixo, em torno de (4–8)×10⁻⁶/°C, significativamente menor do que o de muitos metais. No ambiente rigorosamente controlado das fábricas de semicondutores, onde até mesmo pequenas flutuações de temperatura podem causar erros de medição, as bases das máquinas de granito permanecem estáveis. Essa estabilidade garante a precisão do posicionamento dos componentes no equipamento de inspeção de wafers, evitando desvios induzidos termicamente que possam afetar a precisão dos resultados da inspeção.
Amortecimento de Vibrações Superior: Pisos de produção são frequentemente preenchidos com vibrações de diversas fontes. As propriedades de amortecimento inerentes do granito, com uma taxa de amortecimento de 0,05–0,1, absorvem e dissipam essas vibrações de forma eficaz. Para inspeção de wafers
Em aplicações que exigem imagens de alta resolução e leituras precisas dos sensores, a redução de vibrações proporcionada pelas bases de granito é inestimável. Ela minimiza a interferência que poderia borrar as imagens ou distorcer os dados do sensor, permitindo que o equipamento capture informações claras e precisas sobre a superfície e a estrutura interna do wafer.
Alta Rigidez e Resistência ao Desgaste: Com uma densidade de aproximadamente 3100 kg/m³, as bases de máquinas de granito da ZHHIMG® oferecem notável rigidez. Elas podem suportar os componentes pesados dos equipamentos de inspeção de wafers sem deformar, mantendo o alinhamento dos sistemas óptico e mecânico. Além disso, a alta dureza do granito (escala de Mohs 6–7) e a excelente resistência ao desgaste garantem que a superfície da base da máquina permaneça plana e lisa ao longo do tempo. Essa consistência é essencial para a precisão a longo prazo, pois qualquer desgaste ou deformação na base pode degradar gradualmente a precisão do equipamento.
Inércia QuímicaA fabricação de semicondutores envolve a exposição a diversos produtos químicos. A inércia química do granito o torna resistente à corrosão causada por essas substâncias. Essa propriedade protege a integridade da base da máquina, evitando danos induzidos por produtos químicos que poderiam afetar a estabilidade e a precisão do equipamento de inspeção.
Concluindo, bases de máquinas de granito de alta precisão não são apenas um componente, mas um facilitador essencial para atingir os rigorosos requisitos de precisão dos equipamentos de inspeção de wafers. Ao escolher bases de máquinas de granito, opte por fornecedores confiáveis como a ZHHIMG®. Com diversas certificações e compromisso com a qualidade, a ZHHIMG® garante que cada base de máquina de granito ofereça a confiabilidade e o desempenho necessários para a fabricação avançada de semicondutores.
Horário da publicação: 03/06/2025