As bases de máquinas de granito são muito utilizadas em produtos de equipamentos de processamento de wafer devido às suas propriedades superiores, como alta rigidez, estabilidade e precisão.Montar, testar e calibrar uma base de máquina de granito é um processo crítico que exige máxima atenção aos detalhes, precisão e exatidão.Neste artigo, discutiremos o processo passo a passo de montagem, teste e calibração de uma base de máquina de granito para produtos de equipamentos de processamento de wafer.
Montagem
O primeiro passo é preparar a placa de superfície de granito, base e coluna para montagem.Certifique-se de que todas as superfícies estejam limpas, secas e livres de detritos, poeira ou óleo.Insira os pinos de nivelamento na base e coloque a placa de superfície em cima dela.Ajuste os pinos de nivelamento para que a placa de superfície fique horizontal e nivelada.Certifique-se de que a placa de superfície esteja nivelada com a base e a coluna.
Em seguida, instale a coluna na base e fixe-a com parafusos.Use uma chave de torque para apertar os parafusos com o valor de torque recomendado pelo fabricante.Verifique o nível da coluna e ajuste os pinos de nivelamento se necessário.
Finalmente, instale o conjunto do fuso no topo da coluna.Use uma chave de torque para apertar os parafusos com o valor de torque recomendado pelo fabricante.Verifique o nível do conjunto do fuso e ajuste os pinos de nivelamento, se necessário.
Teste
Após a montagem da base da máquina, o próximo passo é testar sua funcionalidade e precisão.Conecte a fonte de alimentação e ligue a máquina.Certifique-se de que todos os componentes como motores, engrenagens, correias e rolamentos estejam funcionando corretamente e sem quaisquer anormalidades ou ruídos incomuns.
Para testar a precisão da máquina, use um relógio comparador de precisão para medir a excentricidade do fuso.Coloque o relógio comparador na placa de superfície e gire o fuso.O desvio máximo permitido deve ser inferior a 0,002 mm.Se o desvio for maior que o limite permitido, ajuste os pinos de nivelamento e verifique novamente.
Calibração
A calibração é a etapa crítica para garantir a exatidão e a precisão da base da máquina.O processo de calibração envolve testar e ajustar os parâmetros da máquina, como velocidade, posicionamento e precisão, para garantir que a máquina atenda às especificações do fabricante.
Para calibrar a máquina, você precisará de uma ferramenta de calibração, que inclui um interferômetro a laser, um rastreador a laser ou um ballbar.Essas ferramentas medem o movimento, a posição e o alinhamento da máquina com alta precisão.
Comece medindo os eixos lineares e angulares da máquina.Use a ferramenta de calibração para medir o movimento e a posição da máquina em uma distância ou ângulo especificado.Compare os valores medidos com as especificações do fabricante.Se houver algum desvio, ajuste os parâmetros da máquina, como motores, engrenagens e acionamentos, para colocar os valores medidos dentro dos limites permitidos.
A seguir, teste a função de interpolação circular da máquina.Use a ferramenta de calibração para criar um caminho circular e medir o movimento e a posição da máquina.Novamente, compare os valores medidos com as especificações do fabricante e ajuste os parâmetros se necessário.
Finalmente, teste a repetibilidade da máquina.Meça a posição da máquina em diferentes pontos durante um período especificado.Compare os valores medidos e verifique se há desvios.Se houver algum desvio, ajuste os parâmetros da máquina e repita o teste.
Conclusão
Montar, testar e calibrar uma base de máquina de granito para produtos de equipamentos de processamento de wafer é um processo crítico que requer paciência, atenção aos detalhes e precisão.Seguindo essas etapas, você pode garantir que a máquina atenda às especificações do fabricante e funcione com exatidão, estabilidade e precisão.
Horário da postagem: 28 de dezembro de 2023