As bases de granito para máquinas são amplamente utilizadas em equipamentos para processamento de wafers devido às suas propriedades superiores, como alta rigidez, estabilidade e precisão. A montagem, o teste e a calibração de uma base de granito para máquinas são processos críticos que exigem extrema atenção aos detalhes, precisão e exatidão. Neste artigo, discutiremos o processo passo a passo de montagem, teste e calibração de uma base de granito para máquinas de processamento de wafers.
Montagem
O primeiro passo é preparar a placa de granito, a base e a coluna para a montagem. Certifique-se de que todas as superfícies estejam limpas, secas e livres de quaisquer detritos, poeira ou óleo. Insira os pinos niveladores na base e coloque a placa de granito sobre ela. Ajuste os pinos niveladores para que a placa de granito fique horizontal e nivelada. Certifique-se de que a placa de granito esteja alinhada com a base e a coluna.
Em seguida, instale a coluna na base e fixe-a com parafusos. Use uma chave dinamométrica para apertar os parafusos com o torque recomendado pelo fabricante. Verifique o nivelamento da coluna e ajuste os pinos de nivelamento, se necessário.
Por fim, instale o conjunto do eixo na parte superior da coluna. Use uma chave dinamométrica para apertar os parafusos com o torque recomendado pelo fabricante. Verifique o nivelamento do conjunto do eixo e ajuste os pinos de nivelamento, se necessário.
Testando
Após montar a base da máquina, o próximo passo é testar sua funcionalidade e precisão. Conecte a fonte de alimentação e ligue a máquina. Certifique-se de que todos os componentes, como motores, engrenagens, correias e rolamentos, estejam funcionando corretamente e sem anormalidades ou ruídos incomuns.
Para testar a precisão da máquina, utilize um relógio comparador de precisão para medir a excentricidade do eixo-árvore. Posicione o relógio comparador na placa de referência e gire o eixo-árvore. A excentricidade máxima permitida deve ser inferior a 0,002 mm. Se a excentricidade for superior ao limite permitido, ajuste os pinos de nivelamento e verifique novamente.
Calibração
A calibração é a etapa crucial para garantir a exatidão e a precisão da base da máquina. O processo de calibração envolve testar e ajustar os parâmetros da máquina, como velocidade, posicionamento e precisão, para garantir que ela atenda às especificações do fabricante.
Para calibrar a máquina, você precisará de uma ferramenta de calibração, que inclui um interferômetro a laser, um rastreador a laser ou uma barra de esferas. Essas ferramentas medem o movimento, a posição e o alinhamento da máquina com alta precisão.
Comece medindo os eixos linear e angular da máquina. Use a ferramenta de calibração para medir o movimento e a posição da máquina em uma distância ou ângulo especificados. Compare os valores medidos com as especificações do fabricante. Se houver algum desvio, ajuste os parâmetros da máquina, como motores, engrenagens e transmissões, para que os valores medidos fiquem dentro dos limites permitidos.
Em seguida, teste a função de interpolação circular da máquina. Use a ferramenta de calibração para criar uma trajetória circular e meça o movimento e a posição da máquina. Novamente, compare os valores medidos com as especificações do fabricante e ajuste os parâmetros, se necessário.
Por fim, teste a repetibilidade da máquina. Meça a posição da máquina em diferentes pontos durante um período específico. Compare os valores medidos e verifique se há algum desvio. Caso haja algum desvio, ajuste os parâmetros da máquina e repita o teste.
Conclusão
A montagem, o teste e a calibração de uma base de granito para equipamentos de processamento de wafers são processos críticos que exigem paciência, atenção aos detalhes e precisão. Seguindo estas etapas, você garante que a máquina atenda às especificações do fabricante e funcione com exatidão, estabilidade e precisão.
Data da publicação: 28/12/2023