As bases de máquinas de granito são fortemente usadas em produtos de equipamentos de processamento de bolacha devido a suas propriedades superiores, como alta rigidez, estabilidade e precisão. A montagem, teste e calibração de uma base de máquinas de granito é um processo crítico que exige a maior atenção aos detalhes, precisão e precisão. Neste artigo, discutiremos o processo passo a passo de montagem, teste e calibrar uma base de máquinas de granito para produtos de equipamentos de processamento de wafer.
Montagem
O primeiro passo é preparar a placa de superfície de granito, base e coluna para montagem. Certifique -se de que todas as superfícies estejam limpas, secas e livres de detritos, poeira ou óleo. Insira os pinos de nivelamento na base e coloque a placa de superfície em cima dela. Ajuste os pinos de nivelamento para que a placa de superfície seja horizontal e nivelada. Verifique se a placa de superfície está nivelada com a base e a coluna.
Em seguida, instale a coluna na base e prenda -a com parafusos. Use uma chave de torque para apertar os parafusos no valor de torque recomendado pelo fabricante. Verifique o nível da coluna e ajuste os pregos de nivelamento, se necessário.
Por fim, instale o conjunto do eixo na parte superior da coluna. Use uma chave de torque para apertar os parafusos no valor de torque recomendado pelo fabricante. Verifique o nível do conjunto do eixo e ajuste os prisioneiros de nivelamento, se necessário.
Teste
Após a montagem da base da máquina, a próxima etapa é testar sua funcionalidade e precisão. Conecte a fonte de alimentação e ligue a máquina. Certifique -se de que todos os componentes como motores, engrenagens, cintos e rolamentos estejam funcionando corretamente e sem anormalidades ou ruídos incomuns.
Para testar a precisão da máquina, use um indicador de discagem de precisão para medir a escala do eixo. Defina o indicador de discagem na placa da superfície e gire o eixo. O deslocamento máximo permitido deve ser inferior a 0,002 mm. Se a escala for maior que o limite permitido, ajuste os pregos de nivelamento e verifique novamente.
Calibração
A calibração é a etapa crítica para garantir a precisão e a precisão da base da máquina. O processo de calibração envolve testar e ajustar os parâmetros da máquina, como velocidade, posicionamento e precisão, para garantir que a máquina atenda às especificações do fabricante.
Para calibrar a máquina, você precisará de uma ferramenta de calibração, que inclua um interferômetro a laser, um rastreador de laser ou um bar de bola. Essas ferramentas medem o movimento, a posição e o alinhamento da máquina com alta precisão.
Comece medindo os eixos lineares e angulares da máquina. Use a ferramenta de calibração para medir o movimento e a posição da máquina em uma distância ou ângulo especificado. Compare os valores medidos com as especificações do fabricante. Se houver algum desvio, ajuste os parâmetros da máquina, como motores, engrenagens e unidades, para trazer os valores medidos dentro dos limites permitidos.
Em seguida, teste a função de interpolação circular da máquina. Use a ferramenta de calibração para criar um caminho circular e medir o movimento e a posição da máquina. Novamente, compare os valores medidos com as especificações do fabricante e ajuste os parâmetros, se necessário.
Por fim, teste a repetibilidade da máquina. Meça a posição da máquina em pontos diferentes durante um período especificado. Compare os valores medidos e verifique se há desvios. Se houver algum desvio, ajuste os parâmetros da máquina e repita o teste.
Conclusão
Montar, testar e calibrar uma base de máquinas de granito para produtos de equipamentos de processamento de wafer é um processo crítico que requer paciência, atenção aos detalhes e precisão. Seguindo essas etapas, você pode garantir que a máquina atenda às especificações e funções do fabricante com precisão, estabilidade e precisão.
Hora de postagem: dez-28-2023