Bases de máquinas de granito são amplamente utilizadas em equipamentos de processamento de wafers devido às suas excelentes propriedades de estabilidade, rigidez e amortecimento de vibrações. A montagem, o teste e a calibração de uma base de máquinas de granito exigem uma abordagem precisa e cuidadosa para garantir um desempenho preciso e confiável. Neste artigo, guiaremos você pelo processo passo a passo de montagem, teste e calibração de uma base de máquinas de granito para equipamentos de processamento de wafers.
Etapa 1: Verificação e preparação da placa de superfície de granito
O primeiro passo é verificar se há defeitos ou danos na superfície da placa de granito. Inspecione a placa para verificar se há rachaduras, lascas ou arranhões e certifique-se de que esteja limpa e livre de resíduos. Se notar algum dano ou defeito, a placa precisa ser reparada ou substituída.
Após verificar a superfície da placa, use um nível para garantir que esteja perfeitamente plana. Se forem detectados desvios de planicidade, eles devem ser corrigidos com calços ou outros ajustes de nivelamento.
Etapa 2: Posicionando a base da máquina de granito
O segundo passo é colocar a base da máquina de granito em sua posição final. Certifique-se de que a base esteja nivelada e estável e alinhe-a com o restante do equipamento de processamento de wafers. A base da máquina de granito deve ser fixada com segurança para evitar qualquer movimento durante o uso.
Etapa 3: Fixação dos componentes do equipamento de processamento de wafers
O terceiro passo é fixar os componentes do equipamento de processamento de wafers à base da máquina de granito. Isso deve ser feito com cuidado, seguindo as instruções do fabricante e garantindo que todos os componentes estejam fixados com segurança.
Etapa 4: Testando a estabilidade e o amortecimento de vibração da base da máquina de granito
Após a instalação de todos os componentes do equipamento de processamento de wafers, é necessário testar a estabilidade e as propriedades de amortecimento de vibrações da base da máquina de granito. Para isso, conecte o equipamento de processamento de wafers a um analisador de vibrações e execute uma série de testes.
Esses testes ajudarão a identificar quaisquer fontes de vibração e a amplitude das vibrações que a base da máquina de granito pode absorver. Quaisquer problemas identificados durante esses testes devem ser resolvidos, e o sistema de amortecimento de vibrações da base da máquina de granito deve ser ajustado adequadamente.
Etapa 5: Calibração da base da máquina de granito
Após o teste e o ajuste das propriedades de estabilidade e amortecimento de vibrações da base da máquina de granito, é necessário calibrá-la para que possa ser utilizada com precisão. Isso envolve o uso de um sistema de medição de alta precisão para determinar a planura da placa de superfície e ajustar o nível da base da máquina de acordo.
Conclusão
A montagem, o teste e a calibração de uma mesa de máquina de granito exigem uma abordagem precisa e cuidadosa para garantir um desempenho preciso e confiável. Seguindo essas etapas, você garante que seus equipamentos de processamento de wafers sejam construídos sobre uma base estável e robusta, o que é vital para precisão e desempenho confiável.
Horário da publicação: 29/12/2023