Em áreas como fabricação de semicondutores e instrumentos de medição de precisão, a precisão das plataformas de precisão de granito determina diretamente a qualidade operacional do equipamento. Para garantir que a precisão da plataforma atenda aos padrões, esforços devem ser feitos em dois aspectos: a detecção de indicadores-chave e a conformidade com as normas padrão.
Detecção de indicadores principais: controle multidimensional de precisão
Detecção de planura: Determinando a "planicidade" do plano de referência
A planicidade é o principal indicador das plataformas de precisão em granito e geralmente é medida por interferômetros a laser ou níveis eletrônicos. O interferômetro a laser pode medir com precisão as mínimas ondulações na superfície da plataforma, emitindo um feixe de laser e utilizando o princípio da interferência luminosa, com uma precisão que atinge o nível submicrométrico. O nível eletrônico realiza a medição movendo-se várias vezes e desenha um mapa de contorno tridimensional da superfície da plataforma para detectar a presença de saliências ou depressões locais. Por exemplo, as plataformas de granito utilizadas em máquinas de fotolitografia semicondutora devem ter uma planicidade de ±0,5 μm/m, o que significa que a diferença de altura em um comprimento de 1 metro não deve exceder meio micrômetro. Somente com equipamentos de detecção de alta precisão esse padrão rigoroso pode ser garantido.
2. Detecção de retidão: Garanta a "retidão" do movimento linear
Para plataformas que transportam peças móveis de precisão, a retilinidade é de vital importância. Os métodos comuns de detecção são o método do fio ou o colimador a laser. O método do fio envolve a suspensão de fios de aço de alta precisão e a comparação da folga entre a superfície da plataforma e os fios de aço para determinar a retilinidade. O colimador a laser utiliza as características de propagação linear do laser para detectar o erro linear da superfície de instalação do trilho-guia da plataforma. Se a retilinidade não atender aos padrões, o equipamento se deslocará durante o movimento, afetando a precisão do processamento ou da medição.
3. Detecção da rugosidade da superfície: Garanta a "finura" do contato
A rugosidade da superfície da plataforma afeta o ajuste da instalação dos componentes. Geralmente, utiliza-se um medidor de rugosidade por agulha ou um microscópio óptico para a detecção. O instrumento, do tipo agulha, registra as variações de altura do perfil microscópico, colocando uma sonda fina na superfície da plataforma. Microscópios ópticos podem observar diretamente a textura da superfície. Em aplicações de alta precisão, a rugosidade da superfície das plataformas de granito precisa ser controlada em Ra≤0,05μm, o que equivale a um efeito de espelho, garantindo que os componentes de precisão se encaixem perfeitamente durante a instalação e evitando vibrações ou deslocamentos causados por folgas.
Os padrões de precisão seguem: normas internacionais e controle interno da empresa
Atualmente, internacionalmente, as normas ISO 25178 e GB/T 24632 são comumente utilizadas como base para determinar a precisão de plataformas de granito, existindo classificações claras para indicadores como planicidade e retilinidade. Além disso, empresas de manufatura de ponta frequentemente estabelecem padrões de controle interno mais rigorosos. Por exemplo, o requisito de planicidade para a plataforma de granito da máquina de fotolitografia é 30% superior ao padrão internacional. Ao realizar testes, os dados medidos devem ser comparados com os padrões correspondentes. Somente plataformas que atendem integralmente aos padrões podem garantir um desempenho estável em equipamentos de precisão.
A inspeção da precisão de plataformas de granito é um projeto sistemático. Somente testando rigorosamente indicadores essenciais como planicidade, retilinidade e rugosidade da superfície, e seguindo padrões internacionais e empresariais, é possível garantir a alta precisão e confiabilidade da plataforma, estabelecendo uma base sólida para áreas de fabricação de ponta, como semicondutores e instrumentos de precisão.
Data de publicação: 21 de maio de 2025