Em equipamentos de fabricação de semicondutores e optoeletrônicos, o granito é usado principalmente em peças-chave, como plataformas de movimento de precisão, bases de trilhos-guia, estruturas de suporte para isolamento de vibração e substratos para instalação de componentes ópticos. Essas peças apresentam requisitos extremamente elevados de precisão, estabilidade e tolerância ambiental. As características do granito atendem com precisão às rigorosas demandas das indústrias de semicondutores e optoeletrônicos. A seguir, apresentamos uma análise de cenários de aplicação específicos e suas vantagens:
I. Principais peças de aplicação
Plataformas de movimento de precisão (como plataformas de wafer para máquinas de fotolitografia e máquinas de colagem)
Ele é usado para transportar componentes de precisão, como wafers e lentes ópticas, alcançando movimentos de translação e rotação com precisão em nanoescala.
Equipamento típico: mesa de trabalho da máquina de fotolitografia, plataforma de posicionamento do equipamento de medição.
Base do trilho-guia e estrutura do quadro
Como base de instalação para guias lineares e guias de flutuação de ar, ele dá suporte ao mecanismo de movimento central do equipamento.
Equipamentos típicos: estruturas mecânicas de equipamentos de encapsulamento de semicondutores e instrumentos de inspeção óptica.
Suporte de isolamento de vibração e estrutura estabilizadora
É usado para isolar vibrações externas (como vibrações do chão de fábrica ou durante a operação do equipamento), garantindo a estabilidade de sistemas ópticos ou máquinas de precisão.
Cenários típicos: Suporte básico para microscópios ópticos e interferômetros a laser.
Substrato de montagem de componentes ópticos
Conserte dispositivos ópticos, como espelhos, prismas e lasers para garantir a estabilidade a longo prazo da precisão do alinhamento do sistema de caminho óptico.
Equipamento típico: Equipamentos de encapsulamento optoeletrônico, sistemas de acoplamento de fibra óptica.
Data de publicação: 29 de maio de 2025