Na fabricação de semicondutores e optoeletrônica, o granito é utilizado principalmente em peças-chave, como plataformas de movimento de precisão, bases de trilhos-guia, estruturas de suporte para isolamento de vibração e substratos para instalação de componentes ópticos. Essas peças possuem requisitos extremamente elevados de precisão, estabilidade e tolerância ambiental. As características do granito atendem precisamente às rigorosas exigências das indústrias de semicondutores e optoeletrônica. A seguir, apresentamos uma análise de cenários de aplicação específicos e suas vantagens:
I. Principais componentes de aplicação
Plataformas de movimento de precisão (como plataformas de wafers para máquinas de fotolitografia e máquinas de colagem)
É utilizado para transportar componentes de precisão, como wafers e lentes ópticas, permitindo movimentos de translação e rotação com precisão nanométrica.
Equipamento típico: mesa de trabalho da máquina de fotolitografia, plataforma de posicionamento do equipamento de medição.
Base do trilho guia e estrutura da armação
Como base de instalação para guias lineares e guias de flutuação a ar, ela suporta o mecanismo de movimento principal do equipamento.
Equipamentos típicos: estruturas mecânicas de equipamentos de embalagem de semicondutores e instrumentos de inspeção óptica.
Estrutura de suporte e estabilização para isolamento de vibrações
É utilizado para isolar vibrações externas (como vibrações provenientes do chão da fábrica ou durante o funcionamento dos equipamentos), garantindo a estabilidade de sistemas ópticos ou máquinas de precisão.
Cenários típicos: Suporte básico para microscópios ópticos e interferômetros a laser.
substrato para montagem de componentes ópticos
Fixar dispositivos ópticos, como espelhos, prismas e lasers, para garantir a estabilidade a longo prazo da precisão de alinhamento do sistema de trajetória óptica.
Equipamentos típicos: Equipamentos de encapsulamento optoeletrônico, sistemas de acoplamento de fibra óptica.
Data da publicação: 29 de maio de 2025