Em equipamentos semicondutores, para quais componentes-chave são normalmente utilizados leitos de granito?

As bases de granito são altamente preferidas na fabricação de equipamentos semicondutores devido às suas excelentes propriedades, como alta estabilidade dimensional, alta rigidez, baixa expansão térmica, boas propriedades de amortecimento e alta resistência ao desgaste e à abrasão. Elas são amplamente utilizadas em diversos componentes críticos na indústria de fabricação de equipamentos semicondutores, como sistemas de inspeção de wafers, sistemas de medição de wafers, sistemas de manuseio de wafers e muito mais.

Sistemas de Inspeção de Wafer
Os sistemas de inspeção de wafers utilizam bases de granito para proporcionar uma superfície estável e plana para a inspeção de wafers semicondutores. As bases de granito servem como plataforma de apoio para o wafer em inspeção. A planicidade e a rigidez da base de granito garantem uma inspeção precisa, minimizando danos ou contaminação ao wafer. As bases de granito também ajudam a reduzir os efeitos de vibrações ambientais e outros fatores externos.

Sistemas de Medição de Wafer
Em sistemas de medição de wafers, a precisão é fundamental. As bases de granito são amplamente utilizadas para esse fim devido à sua excelente estabilidade dimensional. Elas fornecem uma base rígida para a medição precisa da espessura, forma e características da superfície do wafer. As bases de granito também são resistentes ao desgaste e à abrasão, o que as torna ideais para uso contínuo por longos períodos.

Sistemas de Manuseio de Wafer
As bases de granito também são utilizadas em sistemas de manuseio de wafers. Nesses sistemas, as bases de granito servem como guia preciso para o posicionamento do wafer durante o processo de manuseio. A alta rigidez e planicidade da base de granito garantem o posicionamento preciso e repetível do wafer, reduzindo o risco de danos.

Outros componentes
Além dos componentes mencionados acima, as bases de granito também são utilizadas em outras partes críticas da fabricação de equipamentos semicondutores, como bases de plataformas, estruturas de suporte e outras peças de alta precisão. A elevada estabilidade dimensional das bases de granito ajuda a reduzir erros causados ​​por deformação das peças, variações térmicas e vibrações.

Conclusão
Em conclusão, as bases de granito são um componente crítico na fabricação de equipamentos semicondutores, pois oferecem alta estabilidade dimensional, baixa expansão térmica e excelente resistência ao desgaste e à abrasão. São essenciais para um desempenho preciso, repetível e confiável em sistemas de inspeção de wafers, sistemas de medição de wafers, sistemas de manuseio de wafers e outros equipamentos de alta precisão. O uso de bases de granito garante que os fabricantes de equipamentos semicondutores possam produzir produtos de alta qualidade que atendam aos rigorosos padrões exigidos pela moderna indústria de semicondutores.

granito de precisão19


Data da publicação: 03/04/2024