Em equipamentos semicondutores, para quais componentes principais são as camas de granito geralmente usadas?

Os leitos de granito são altamente preferidos na fabricação de equipamentos de semicondutores devido a suas excelentes propriedades, como alta estabilidade dimensional, alta rigidez, baixa expansão térmica, boas propriedades de amortecimento e alta resistência ao desgaste e abrasão. Eles são amplamente utilizados em vários componentes críticos na indústria de fabricação de equipamentos de semicondutores, como sistemas de inspeção de wafer, sistemas de medição de wafer, sistemas de manuseio de wafers e muito mais.

Sistemas de inspeção de wafer
Os sistemas de inspeção de bolacha empregam leitos de granito para fornecer uma superfície estável e plana para a inspeção das bolachas semicondutores. As camas de granito são usadas como a plataforma de palco que mantém a bolacha em inspeção. A planicidade e a rigidez do leito de granito garantem inspeção precisa, minimizando os danos ou a contaminação na bolacha. Os leitos de granito também ajudam a reduzir os efeitos das vibrações ambientais e outros fatores externos.

Sistemas de medição de bolacha
Nos sistemas de medição de wafer, a precisão é crítica. Camas de granito são amplamente utilizadas para esse fim devido à sua excelente estabilidade dimensional. Eles fornecem uma base rígida para a medição precisa da espessura, forma e características da superfície da wafer. Os leitos de granito também são resistentes ao desgaste e abrasão, o que os torna ideais para uso contínuo durante um período prolongado.

Sistemas de manuseio de bolacha
Camas de granito também são usadas em sistemas de manuseio de bolacha. Nesses sistemas, os leitos de granito são usados ​​como um guia preciso para posicionar a bolacha durante o processo de manuseio. A alta rigidez e a nivelamento do leito de granito garantem posicionamento preciso e repetível da bolacha, reduzindo o risco de dano.

Outros componentes
Além dos componentes acima, as camas de granito também são usadas em outras partes críticas da fabricação de equipamentos semicondutores, como bases de estágio, estruturas de suporte e outras peças de alta precisão. A alta estabilidade dimensional dos leitos de granito ajuda a reduzir os erros causados ​​por deformação por peça, alterações térmicas e vibração.

Conclusão
Em conclusão, os leitos de granito são um componente crítico na fabricação de equipamentos semicondutores, pois oferecem alta estabilidade dimensional, baixa expansão térmica e excelente resistência ao desgaste e abrasão. Eles são essenciais para um desempenho preciso, repetível e confiável em sistemas de inspeção de wafer, sistemas de medição de wafer, sistemas de manuseio de bolas e outros equipamentos de alta precisão. O uso de leitos de granito garante que os fabricantes de equipamentos de semicondutores possam produzir produtos de alta qualidade que atendam aos padrões rigorosos exigidos pela moderna indústria de semicondutores.

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Hora de postagem: abril-03-2024