No mundo da fabricação de semicondutores, equipamentos precisos e exatos são essenciais para produzir chips de alta qualidade. Diversas partes de uma instalação de fabricação de semicondutores devem utilizar materiais com propriedades específicas para garantir uma operação confiável e de alta precisão.
Um material que se tornou um componente padrão de equipamentos semicondutores é o granito. Conhecido por sua resistência e estabilidade, o granito é um excelente material para a construção e fabricação de componentes utilizados em equipamentos semicondutores. Aqui estão algumas das peças de equipamentos semicondutores que comumente utilizam granito:
1. Placas de base
As placas de base dos equipamentos semicondutores precisam ser extremamente planas e estáveis para minimizar vibrações e variações de temperatura. E o granito é um dos poucos materiais que atende a esses requisitos. O granito é um material dimensionalmente estável que resiste à deformação e à expansão térmica, garantindo que a placa de base mantenha sua planura ao longo do tempo.
2. Estágios
Os estágios são componentes essenciais em equipamentos semicondutores que realizam movimentos precisos em processos de fabricação como posicionamento de wafers, gravação e deposição. Os estágios de granito são amplamente utilizados em equipamentos semicondutores devido à sua alta rigidez, baixa expansão térmica e excelentes propriedades de amortecimento. Com estágios de granito, os movimentos são mais precisos e o equipamento apresenta menor risco de falhas.
3. Guias lineares
Guias lineares são dispositivos mecânicos que proporcionam movimento linear ao longo de dois trilhos paralelos. Elas precisam ser extremamente estáveis e precisas, e o granito é o material ideal para essa finalidade. As altas propriedades de rigidez e amortecimento do granito o tornam uma escolha popular para guias lineares usadas em equipamentos semicondutores, garantindo estabilidade e precisão no processo de fabricação.
4. Chucks
Mandris são usados para segurar e posicionar wafers durante diversos processos de fabricação. Os mandris de granito são populares devido à sua planura e estabilidade térmica. Devido à baixa expansão térmica do granito, os mandris feitos deste material não deformam nem mudam de tamanho quando expostos a mudanças de temperatura.
5. Placas de inspeção
Placas de inspeção são usadas para verificar a qualidade dos produtos fabricados em equipamentos semicondutores. Essas placas precisam ser extremamente planas e estáveis, além de capazes de refletir a luz com precisão. A alta refletividade, a planura da superfície e a estabilidade dimensional do granito o tornam uma escolha popular para placas de inspeção em equipamentos semicondutores.
Concluindo, os elementos de granito são amplamente utilizados em peças de precisão em equipamentos semicondutores, e sua utilização está prevista para se expandir devido às suas excelentes propriedades. Com sua alta rigidez, baixa expansão térmica e excelentes propriedades de amortecimento, os elementos de granito fornecem a estabilidade, a precisão e a repetibilidade necessárias para a realização de operações em nanoescala em equipamentos semicondutores. Empresas que produzem equipamentos semicondutores de alta qualidade investem nos melhores materiais para dar aos seus produtos a melhor chance de sucesso, e o granito continua sendo um material de referência devido às suas excelentes propriedades e confiabilidade.
Horário da publicação: 19/03/2024