No mundo da fabricação de semicondutores, equipamentos precisos e exatos são essenciais para a produção de chips de alta qualidade. Inúmeras partes de uma fábrica de semicondutores precisam utilizar materiais com propriedades específicas para garantir uma operação confiável e de alta precisão.
Um material que se tornou um componente padrão em equipamentos semicondutores é o granito. Conhecido por sua resistência e estabilidade, o granito é um excelente material para a construção e fabricação de componentes usados nesses equipamentos. A seguir, alguns exemplos de peças de equipamentos semicondutores que comumente utilizam granito:
1. Placas de base
As placas de base dos equipamentos semicondutores precisam ser extremamente planas e estáveis para minimizar vibrações e variações de temperatura. E o granito é um dos poucos materiais que atendem a esses requisitos. O granito é um material dimensionalmente estável que resiste à deformação e à expansão térmica, garantindo que a placa de base mantenha sua planicidade ao longo do tempo.
2. Etapas
As plataformas de posicionamento são componentes críticos em equipamentos semicondutores, responsáveis por movimentos precisos em processos de fabricação como posicionamento de wafers, corrosão e deposição. As plataformas de granito são amplamente utilizadas em equipamentos semicondutores devido à sua alta rigidez, baixa expansão térmica e excelentes propriedades de amortecimento. Com plataformas de granito, os movimentos são mais precisos e o equipamento apresenta menor risco de falhas.
3. Guias lineares
Guias lineares são dispositivos mecânicos que proporcionam movimento linear ao longo de dois trilhos paralelos. Elas precisam ser extremamente estáveis e precisas, e o granito é o material ideal para essa finalidade. A alta rigidez e as propriedades de amortecimento do granito o tornam uma escolha popular para guias lineares usados em equipamentos semicondutores, garantindo estabilidade e precisão no processo de fabricação.
4. Chucks
Os mandris são usados para segurar e posicionar wafers durante diversos processos de fabricação. Os mandris de granito são populares devido à sua planicidade e estabilidade térmica. Graças à baixa expansão térmica do granito, os mandris feitos desse material não se deformam nem alteram suas dimensões quando expostos a variações de temperatura.
5. Placas de inspeção
As placas de inspeção são utilizadas para verificar a qualidade dos produtos fabricados em equipamentos semicondutores. Essas placas precisam ser extremamente planas e estáveis, além de capazes de refletir a luz com precisão. A alta refletividade, a planicidade da superfície e a estabilidade dimensional do granito o tornam uma escolha popular para placas de inspeção em equipamentos semicondutores.
Em conclusão, os elementos de granito são amplamente utilizados em peças de precisão para equipamentos semicondutores, e sua utilização deverá expandir-se devido às suas excelentes propriedades. Com sua alta rigidez, baixa expansão térmica e excelentes propriedades de amortecimento, os elementos de granito proporcionam a estabilidade, a precisão e a repetibilidade necessárias para a realização de operações em nanoescala em equipamentos semicondutores. Empresas que produzem equipamentos semicondutores de alta qualidade investem nos melhores materiais para garantir o sucesso de seus produtos, e o granito continua sendo um material de referência devido às suas excelentes propriedades e confiabilidade.
Data da publicação: 19/03/2024