Os materiais de granito são amplamente utilizados na indústria de semicondutores devido às suas excelentes características, como alta estabilidade, baixa expansão térmica e alta resistência à corrosão. Essas propriedades tornam o granito um material ideal para a construção de componentes de alta precisão em um sistema de transferência de wafers.
No processo de fabricação de semicondutores, o sistema de transferência de wafers desempenha um papel fundamental no transporte de wafers pelas diferentes etapas do processo de fabricação. Precisão e exatidão são requisitos essenciais para esses sistemas, pois mesmo pequenos desvios podem comprometer todo o processo. Portanto, os componentes do sistema de transferência de wafers devem ser feitos de materiais de alta qualidade, e o granito atende a esses critérios.
Algumas partes do sistema de transferência de wafers que são feitas de materiais de granito incluem:
1. Mesa de mandril de vácuo
A mesa de fixação a vácuo é usada para segurar o wafer durante o processo e deve ter uma superfície estável para garantir que o wafer não seja danificado. O granito é um material ideal para a fabricação desta mesa, pois possui uma superfície plana e não porosa, proporcionando alta estabilidade e precisão. Além disso, o granito possui um baixo coeficiente de expansão térmica, o que o torna resistente a mudanças de temperatura que podem causar alterações dimensionais no wafer.
2. Estágio de rolamento de ar
A plataforma com suporte de ar é usada para transportar o wafer pelas diferentes etapas do processo de fabricação. A plataforma é projetada para proporcionar um movimento sem atrito, o que requer alta precisão e estabilidade. O granito é usado nesta aplicação por ser uma pedra rígida e dura, resistente à deformação e ao desgaste ao longo do tempo.
3. Guias de movimento linear
As guias de movimento linear são utilizadas para guiar o estágio de mancal de ar e devem ser posicionadas com precisão para minimizar erros. O granito é utilizado na construção desta guia por apresentar excelente estabilidade mecânica e resistência. O material também é resistente à corrosão, o que garante a longevidade do sistema de guia.
4. Equipamentos de Metrologia
Equipamentos de metrologia são utilizados para medir as dimensões e propriedades do wafer durante o processo de fabricação. O granito é um material ideal para a construção deste equipamento, pois apresenta alta rigidez, baixa expansão e mínima deformação sob carga. Além disso, a estabilidade térmica do granito garante que o equipamento de metrologia permaneça estável e preciso ao longo do tempo.
Em suma, a indústria de semicondutores depende de precisão e exatidão, e os materiais de granito provaram ser altamente confiáveis e estáveis no processo de fabricação. Com muitos componentes críticos no sistema de transferência de wafers exigindo alta estabilidade, precisão e baixa expansão térmica, os engenheiros recorreram aos materiais de granito para atender a esses requisitos críticos.
Horário da publicação: 19/03/2024