Os materiais de granito são amplamente utilizados na indústria de semicondutores devido às suas excelentes características, como alta estabilidade, baixa expansão térmica e alta resistência à corrosão.Essas propriedades tornam o granito um material ideal para a construção de componentes de alta precisão em um sistema de transferência de wafer.
No processo de fabricação de semicondutores, o sistema de transferência de wafers desempenha um papel crítico no transporte de wafers através de diferentes estágios do processo de fabricação.Precisão e exatidão são requisitos essenciais para estes sistemas, pois mesmo pequenos desvios podem comprometer todo o processo.Portanto, os componentes do sistema de transferência de wafer devem ser feitos de materiais de alta qualidade e o granito atende a esses critérios.
Algumas partes do sistema de transferência de wafer feitas de materiais de granito incluem:
1. Mesa de mandril de vácuo
A mesa do mandril a vácuo é usada para segurar o wafer durante o processo e deve ter uma superfície estável para garantir que o wafer não seja danificado.O granito é um material ideal para a confecção desta mesa porque possui uma superfície plana e não porosa que proporciona alta estabilidade e precisão.Além disso, o granito possui baixo coeficiente de dilatação térmica, o que o torna resistente a variações de temperatura que podem causar alterações dimensionais no wafer.
2. Estágio de rolamento de ar
O estágio de rolamento de ar é usado para transportar o wafer através de diferentes estágios do processo de fabricação.O palco foi projetado para proporcionar um movimento sem atrito, o que requer alta precisão e estabilidade.O granito é utilizado nesta aplicação porque é uma pedra rígida e dura, e resiste à deformação e ao desgaste ao longo do tempo.
3. Guias de movimento linear
As guias de movimento linear são usadas para guiar a platina sustentada por ar e devem ser posicionadas com precisão para minimizar erros.O granito é utilizado para construir esta guia porque possui excelente estabilidade mecânica e resistência.O material também é resistente à corrosão, o que garante a longevidade do sistema de guia.
4. Equipamento de Metrologia
Equipamentos de metrologia são usados para medir as dimensões e propriedades do wafer durante o processo de fabricação.O granito é um material ideal para a construção deste equipamento porque possui alta rigidez, baixa expansão e mínima deformação sob carga.Além disso, a estabilidade térmica do granito garante que o equipamento de metrologia permaneça estável e preciso ao longo do tempo.
Concluindo, a indústria de semicondutores depende de precisão e exatidão, e os materiais de granito provaram ser altamente confiáveis e estáveis no processo de fabricação.Com muitos componentes críticos no sistema de transferência de wafer exigindo alta estabilidade, precisão e baixa expansão térmica, os engenheiros recorreram a materiais de granito para atender a esses requisitos críticos.
Horário da postagem: 19 de março de 2024