Os materiais de granito são amplamente utilizados na indústria de semicondutores devido às suas excelentes características, como alta estabilidade, baixa expansão térmica e alta resistência à corrosão. Essas propriedades fazem do granito um material ideal para a fabricação de componentes de alta precisão em sistemas de transferência de wafers.
No processo de fabricação de semicondutores, o sistema de transferência de wafers desempenha um papel crucial no transporte dos wafers entre as diferentes etapas do processo produtivo. Precisão e exatidão são requisitos essenciais para esses sistemas, visto que mesmo pequenas variações podem comprometer todo o processo. Portanto, os componentes do sistema de transferência de wafers devem ser fabricados com materiais de alta qualidade, e o granito atende a esses critérios.
Algumas partes do sistema de transferência de wafers que são feitas de materiais graníticos incluem:
1. Mesa de fixação a vácuo
A mesa de fixação a vácuo é utilizada para segurar o wafer durante o processo e deve possuir uma superfície estável para garantir que o wafer não seja danificado. O granito é um material ideal para a fabricação dessa mesa, pois possui uma superfície plana e não porosa que proporciona alta estabilidade e precisão. Além disso, o granito tem um baixo coeficiente de expansão térmica, tornando-o resistente a variações de temperatura que poderiam causar alterações dimensionais no wafer.
2. Estágio com Mancal de Ar
A plataforma com rolamentos de ar é utilizada para transportar o wafer através das diferentes etapas do processo de fabricação. Essa plataforma é projetada para proporcionar um movimento sem atrito, o que exige alta precisão e estabilidade. O granito é utilizado nessa aplicação por ser uma pedra rígida e dura, que resiste à deformação e ao desgaste ao longo do tempo.
3. Guias de Movimento Linear
As guias de movimento linear são utilizadas para guiar a plataforma de rolamento a ar e devem ser posicionadas com precisão para minimizar erros. O granito é utilizado na construção dessas guias devido à sua excelente estabilidade e resistência mecânica. O material também é resistente à corrosão, o que garante a longevidade do sistema de guias.
4. Equipamentos de Metrologia
Os equipamentos de metrologia são utilizados para medir as dimensões e propriedades do wafer durante o processo de fabricação. O granito é um material ideal para a construção desses equipamentos, pois apresenta alta rigidez, baixa expansão e mínima deformação sob carga. Além disso, a estabilidade térmica do granito garante que os equipamentos de metrologia permaneçam estáveis e precisos ao longo do tempo.
Em conclusão, a indústria de semicondutores depende de precisão e exatidão, e os materiais de granito têm se mostrado altamente confiáveis e estáveis no processo de fabricação. Com muitos componentes críticos no sistema de transferência de wafers exigindo alta estabilidade, precisão e baixa expansão térmica, os engenheiros têm recorrido aos materiais de granito para atender a esses requisitos essenciais.
Data da publicação: 19/03/2024