Os materiais de granito são amplamente utilizados na indústria de semicondutores devido às suas excelentes características, como alta estabilidade, baixa expansão térmica e alta resistência à corrosão. Essas propriedades tornam o granito um material ideal para a construção de componentes de alta precisão em um sistema de transferência de wafer.
No processo de fabricação de semicondutores, o sistema de transferência de wafer desempenha um papel crítico no transporte de bolachas em diferentes estágios do processo de fabricação. Precisão e precisão são os requisitos essenciais para esses sistemas, pois até pequenos desvios podem comprometer todo o processo. Portanto, os componentes no sistema de transferência de wafer devem ser feitos de materiais de alta qualidade, e o granito atende a esses critérios.
Algumas partes do sistema de transferência de wafer feitas de materiais de granito incluem:
1. Tabela de chuck a vácuo
A mesa de vácuo é usada para segurar a bolacha durante o processo e deve ter uma superfície estável para garantir que a bolacha não esteja danificada. O granito é um material ideal para fazer esta tabela porque possui uma superfície plana e não porosa que fornece alta estabilidade e precisão. Além disso, o granito tem um baixo coeficiente de expansão térmica, tornando -o resistente a alterações de temperatura que podem causar alterações dimensionais na bolacha.
2. Estágio de portador de ar
O estágio do ar é usado para transportar a bolacha através de diferentes estágios do processo de fabricação. O palco é projetado para fornecer um movimento sem atrito, que requer alta precisão e estabilidade. O granito é usado neste aplicativo porque é uma pedra rígida e dura e resiste à deformação e desgaste ao longo do tempo.
3. Guias de movimento linear
Os guias de movimento linear são usados para orientar o estágio do ar e devem estar posicionados com precisão para minimizar os erros. O granito é usado para construir este guia, pois possui excelente estabilidade e força mecânicas. O material também é resistente à corrosão, o que garante a longevidade do sistema guia.
4. Equipamento de metrologia
O equipamento de metrologia é usado para medir as dimensões e propriedades da bolacha durante o processo de fabricação. O granito é um material ideal para construir este equipamento, pois possui alta rigidez, baixa expansão e deformação mínima sob carga. Além disso, a estabilidade térmica do granito garante que o equipamento de metrologia permaneça estável e preciso ao longo do tempo.
Em conclusão, a indústria de semicondutores depende de precisão e precisão, e os materiais de granito provaram ser altamente confiáveis e estáveis no processo de fabricação. Com muitos componentes críticos no sistema de transferência de wafer que requer alta estabilidade, precisão e baixa expansão térmica, os engenheiros se voltaram para materiais de granito para atender a esses requisitos críticos.
Hora de postagem: mar-19-2024