Na vanguarda da manufatura de precisão e da pesquisa científica, a demanda por controle de movimento de ultraprecisão aumenta a cada dia. Como equipamento fundamental para alcançar movimento linear de alta precisão, o desempenho do módulo de flutuação a ar de eixo único de ultraprecisão afeta diretamente a qualidade do produto final e a exatidão dos resultados da pesquisa científica. Dentre os diversos fatores que influenciam esse processo, a utilização de uma base de granito confere uma vantagem inigualável, tornando-se o elemento central para garantir excelente precisão.
O granito, após milhões de anos de transformações geológicas, possui uma estrutura interna extremamente densa e uniforme. Composto principalmente por quartzo, feldspato e outros minerais, essa composição única confere ao granito excelentes propriedades físicas. Quando utilizado como base para um módulo de movimento de ultraprecisão com flutuação a ar de eixo único, o granito demonstra, em primeiro lugar, uma estabilidade extremamente elevada. Comparado com bases de materiais metálicos comuns, as bases de granito apresentam maior resistência à deformação diante de perturbações ambientais externas, como flutuações de temperatura e vibrações mecânicas. No processo de fabricação de chips eletrônicos, a precisão de posicionamento da litografia precisa atingir o nível nanométrico. Na linha de produção, a vibração gerada pela operação de equipamentos de grande porte e pequenas variações na temperatura ambiente podem afetar a precisão de movimento do equipamento de litografia. O módulo de movimento de ultraprecisão com flutuação a ar de eixo único com base de granito pode atenuar eficazmente a vibração externa e reduzir a amplitude da vibração transmitida ao módulo de movimento em mais de 80%. Ao mesmo tempo, seu coeficiente de expansão térmica extremamente baixo faz com que o tamanho da base mude muito pouco quando a temperatura muda, garantindo que o módulo de movimento flutuante a ar ainda possa manter uma precisão de movimento estável em um ambiente complexo, fornecendo uma base de posicionamento precisa para a litografia de chips e melhorando muito o rendimento da fabricação de chips.
Além disso, o granito possui boa resistência ao desgaste. No processo de movimento recíproco frequente do módulo de flutuação a ar de eixo único de ultraprecisão, embora haja um suporte de película de gás entre o deslizador da boia e a base, o uso prolongado inevitavelmente produzirá um certo grau de atrito. A base de granito, com suas características de alta dureza, pode resistir eficazmente ao desgaste causado por esse atrito e prolongar a vida útil do módulo de movimento. Nos laboratórios de pesquisa científica de universidades, os equipamentos experimentais utilizados para a detecção de micropartículas necessitam que o módulo de movimento de ultraprecisão da flutuação a ar uniaxial funcione de forma estável por longos períodos para obter um grande número de dados experimentais precisos. A alta resistência ao desgaste da base de granito garante que a precisão do módulo de movimento possa ser mantida no alto nível de precisão inicial mesmo após um longo período de uso, fornecendo uma garantia confiável para a continuidade e precisão do trabalho de pesquisa científica e auxiliando os pesquisadores a explorar profundamente os mistérios do mundo microscópico.
O módulo de movimento de ultraprecisão com flutuação a ar de eixo único e base de granito funciona como um "navegador" preciso para a fabricação de alta precisão e pesquisa científica. A base de granito, com sua excelente estabilidade e resistência ao desgaste, proporciona um suporte sólido para o movimento de alta precisão do módulo de flutuação a ar. Desempenha um papel insubstituível na fabricação de semicondutores, instrumentos ópticos, pesquisa científica de ponta e muitas outras áreas que exigem alta precisão, impulsionando a indústria rumo a níveis de precisão e qualidade superiores.
Data da publicação: 07/04/2025