O granito é um tipo de rocha dura que se tornou um material indispensável na indústria de fabricação de semicondutores. Suas propriedades permitem que ele suporte altas temperaturas, o que o torna ideal para uso em várias etapas dos processos de fabricação de dispositivos semicondutores. Como resultado, a montagem com granito encontrou ampla aplicação em produtos de dispositivos para processos de fabricação de semicondutores.
Uma das aplicações mais comuns da montagem com granito é na construção de estruturas de máquinas-ferramenta de alta precisão. A rigidez e a estabilidade do granito permitem produzir ferramentas precisas e exatas com pouca ou nenhuma deformação. Esse nível de precisão é essencial em processos de fabricação de semicondutores, como a implantação iônica, onde o feixe deve ser direcionado com exatidão para o wafer.
Outra aplicação da montagem de granito na fabricação de semicondutores é na construção de equipamentos de metrologia. Os equipamentos de metrologia são vitais nos processos de fabricação de semicondutores, pois medem e verificam a precisão dos dispositivos produzidos. A estabilidade dimensional, a baixa expansão térmica e as excelentes propriedades de amortecimento de vibrações do granito fazem dele o material de escolha na construção de equipamentos de metrologia. Isso inclui grandes superfícies de granito usadas no armazenamento e inspeção de wafers.
As mesas ópticas representam mais uma área de ampla aplicação da montagem em granito na indústria de semicondutores. Elas são utilizadas no teste de dispositivos ópticos, como guias de onda para comunicação de dados. A planicidade, a baixa expansão térmica, a alta rigidez e a estabilidade mecânica do granito permitem que ele forneça uma superfície altamente estável para a montagem e o posicionamento de componentes ópticos. As mesas ópticas de granito oferecem a estabilidade e a rigidez necessárias para realizar testes precisos e exatos de dispositivos ópticos.
O granito também é utilizado na construção de suportes e plataformas para wafers. Durante o processo de fabricação de semicondutores, o alinhamento preciso e o controle de posição são cruciais. Os suportes para wafers, que mantêm os wafers no lugar durante o processamento, devem manter a precisão de posição, suportando altas temperaturas e condições de vácuo. O granito possui excelente estabilidade dimensional em uma ampla faixa de temperaturas e suporta condições de vácuo, tornando-o ideal para a construção de suportes para wafers. As plataformas utilizadas na movimentação dos wafers de uma posição para outra passam por uma sequência cíclica de movimentos durante o processo de fabricação de semicondutores. A montagem em granito proporciona a estabilidade e a durabilidade necessárias para suportar os ciclos contínuos e repetitivos de movimento.
Em resumo, a aplicação de conjuntos de granito na indústria de fabricação de semicondutores é vasta. Suas propriedades, como estabilidade dimensional, baixa expansão térmica, alta rigidez e amortecimento de vibrações, fazem dele um material ideal para uso em várias etapas dos processos de fabricação de dispositivos semicondutores. Da construção de máquinas-ferramenta de alta precisão e equipamentos de metrologia a mesas ópticas, plataformas e mandris para wafers, os atributos do granito desempenham um papel crucial ao proporcionar a estabilidade, a precisão e a repetibilidade necessárias para alcançar a fabricação de dispositivos semicondutores de alta qualidade.
Data da publicação: 06/12/2023