O granito é um tipo de rocha dura que se tornou um material indispensável na indústria de fabricação de semicondutores. Suas propriedades permitem que ele resista a altas temperaturas, o que o torna ideal para uso em diversas etapas dos processos de fabricação de dispositivos semicondutores. Como resultado, a montagem em granito encontrou amplas áreas de aplicação em produtos de dispositivos para o processo de fabricação de semicondutores.
Uma das aplicações mais utilizadas da montagem de granito é na construção de estruturas de máquinas-ferramenta de alta precisão. A rigidez e a estabilidade do granito permitem a produção de ferramentas precisas e exatas com pouca ou nenhuma deformação. Esse nível de precisão é necessário em processos de fabricação de semicondutores, como a implantação iônica, onde o feixe deve ser direcionado com precisão para o wafer.
Outra aplicação da montagem de granito na fabricação de semicondutores é na construção de equipamentos de metrologia. Equipamentos de metrologia são vitais nos processos de fabricação de semicondutores, pois medem e verificam a precisão dos dispositivos produzidos. A estabilidade dimensional, a baixa expansão térmica e as excelentes propriedades de amortecimento de vibrações do granito o tornam o material de escolha na construção de equipamentos de metrologia. Isso inclui grandes superfícies de granito usadas na preparação e inspeção de wafers.
Mesas ópticas são outra área de ampla aplicação da montagem em granito na indústria de semicondutores. Mesas ópticas são utilizadas em testes de dispositivos ópticos, como guias de onda para comunicação de dados. A planura, a baixa expansão térmica, a alta rigidez e a estabilidade mecânica do granito permitem que ele forneça uma superfície altamente estável para a montagem e o posicionamento de componentes ópticos. As mesas ópticas de granito podem fornecer a estabilidade e a rigidez necessárias para realizar testes precisos e precisos de dispositivos ópticos.
O granito também encontra aplicação na construção de mandris e estágios de wafer. Durante o processo de fabricação de semicondutores, o alinhamento preciso e o controle de posição são cruciais. Os mandris de wafer, que mantêm os wafers no lugar durante o processamento, devem manter a precisão da posição, ao mesmo tempo em que suportam altas temperaturas e condições de vácuo. O granito possui excelente estabilidade dimensional em uma ampla faixa de temperaturas e pode suportar condições de vácuo, tornando-o ideal para a construção de mandris de wafer. Os estágios usados na movimentação dos wafers de uma posição para outra passam por uma sequência cíclica de movimentos durante um processo de fabricação de semicondutores. A montagem em granito proporciona a estabilidade e a durabilidade necessárias para suportar os ciclos contínuos e repetitivos de movimento.
Em resumo, a aplicação de conjuntos de granito na indústria de fabricação de semicondutores é vasta. Suas propriedades, como estabilidade dimensional, baixa expansão térmica, alta rigidez e amortecimento de vibrações, o tornam um material ideal para uso em diversas etapas dos processos de fabricação de dispositivos semicondutores. Da construção de máquinas-ferramentas de alta precisão e equipamentos de metrologia a mesas ópticas, estágios e mandris de wafer, os atributos do granito desempenham um papel crucial no fornecimento de estabilidade, precisão e repetibilidade necessárias para alcançar a fabricação de dispositivos semicondutores de alta qualidade.
Horário da publicação: 06/12/2023