Campo de aplicação do módulo de movimento de ultraprecisão com flutuador pneumático de eixo único utilizando base de granito.

Fabricação de semicondutores: No processo de fabricação de chips, a fotolitografia exige a transferência precisa do padrão do circuito para o wafer. A base de granito do módulo de movimento flutuante a ar de eixo único de ultraprecisão proporciona posicionamento de alta precisão e suporte estável para a mesa de wafers no equipamento de litografia. Por exemplo, a ASML e outros fabricantes de máquinas de litografia de renome internacional utilizam módulos de movimento flutuante a ar com base de granito em seus equipamentos de ponta, que controlam a precisão do posicionamento do wafer em nível nanométrico para garantir a exatidão do padrão de litografia, melhorando assim a integração e o desempenho do chip.
Campo de medição de precisão: A CMM (Máquina de Medição por Coordenadas) é um equipamento de medição de precisão comumente usado na produção industrial, utilizado para medir a dimensão, a forma e a precisão de posição da peça. O módulo de movimento de ultraprecisão do flutuador pneumático de eixo único sobre base de granito pode ser usado como plataforma de movimento da CMM, permitindo movimentos lineares de alta precisão e proporcionando uma trajetória de movimento estável para a ponta de medição. Por exemplo, a CMM de alta gama da Hexagon utiliza essa combinação para medir peças grandes e complexas com precisão de medição em nível micrométrico, oferecendo uma forte garantia para o controle de qualidade de peças nas indústrias automotiva, aeroespacial e outras.
Setor aeroespacial: No processamento e teste de peças aeroespaciais, alta precisão é essencial. Por exemplo, a usinagem de pás de motores aeronáuticos requer controle preciso da trajetória de movimento da ferramenta para garantir a exatidão do perfil da pá. A base de granito do módulo de movimento de ultraprecisão com flutuação a ar de eixo único pode ser aplicada em centros de usinagem de cinco eixos e outros equipamentos para fornecer controle de movimento de alta precisão para a ferramenta e garantir que a precisão de usinagem da pá atenda aos requisitos de projeto. Ao mesmo tempo, no processo de montagem do motor aeronáutico, também é necessário utilizar equipamentos de medição de alta precisão para verificar a exatidão da montagem das peças. O módulo de movimento com flutuação a ar da base de granito oferece suporte estável e movimento preciso para o equipamento de medição, garantindo a qualidade da montagem.
Campo de inspeção óptica: No processo de fabricação e teste de componentes ópticos, é necessário realizar o posicionamento e a medição de alta precisão desses componentes. Por exemplo, na fabricação de componentes ópticos de alta precisão, como espelhos e lentes, é necessário utilizar interferômetros e outros equipamentos para detectar a precisão da forma da superfície. A base de granito do módulo de movimento de ultraprecisão com flutuação a ar de eixo único pode ser usada como plataforma de movimento para o interferômetro, permitindo alcançar precisão de posicionamento submicrométrica e fornecendo dados precisos para a detecção de componentes ópticos. Além disso, em equipamentos de processamento a laser, também é necessário utilizar uma plataforma de movimento de alta precisão para controlar a trajetória de varredura do feixe de laser. A base de granito do módulo de movimento com flutuação a ar atende a esse requisito, possibilitando o processamento a laser de alta precisão.