O campo de aplicação do módulo de movimento de ultraprecisão de flutuação de ar de eixo único usando base de granito.

Fabricação de semicondutores: No processo de fabricação de chips, o processo de fotolitografia precisa transferir o padrão do circuito com precisão para o wafer. A base de granito do módulo de movimento de ultraprecisão flutuante a ar de eixo único pode fornecer posicionamento de alta precisão e suporte estável para a mesa do wafer no equipamento de litografia. Por exemplo, a ASML e outros fabricantes de máquinas de litografia de renome internacional utilizam módulos de movimento flutuante a ar com base de granito em seus equipamentos de ponta, que podem controlar a precisão de posicionamento do wafer em nível nanométrico para garantir a precisão do padrão de litografia, melhorando assim a integração e o desempenho do chip.
Campo de medição de precisão: A CMM é um equipamento de medição de precisão comumente utilizado na produção industrial, utilizado para medir o tamanho, a forma e a precisão da posição da peça. O módulo de movimento de ultraprecisão do flutuador de ar de eixo único sobre a base de granito pode ser usado como plataforma de movimento da CMM, que pode realizar movimento linear de alta precisão e fornecer uma trajetória de movimento estável para a sonda de medição. Por exemplo, a CMM de ponta da Hexagon utiliza essa combinação para medir peças grandes e complexas com precisão de medição de até µm, proporcionando uma forte garantia para o controle de qualidade de peças nas indústrias automotiva, aeroespacial e outras.
Área aeroespacial: No processamento e teste de peças aeroespaciais, alta precisão é necessária. Por exemplo, a usinagem de pás de motores de aeronaves requer um controle preciso da trajetória de movimento da ferramenta para garantir a precisão do perfil da pá. A base de granito do módulo de movimento de ultraprecisão com flutuação de ar de eixo único pode ser aplicada ao centro de usinagem de cinco eixos e outros equipamentos para fornecer controle de movimento de alta precisão para a ferramenta e garantir que a precisão de usinagem da pá atenda aos requisitos de projeto. Ao mesmo tempo, no processo de montagem do motor aeronáutico, também é necessário o uso de equipamentos de medição de alta precisão para detectar a precisão da montagem das peças. O módulo de movimento com flutuação de ar da base de granito pode fornecer suporte estável e movimento preciso para o equipamento de medição, garantindo a qualidade da montagem.
Campo de inspeção óptica: No processo de fabricação e teste de componentes ópticos, é necessário realizar posicionamento e medição de alta precisão dos componentes ópticos. Por exemplo, na fabricação de componentes ópticos de alta precisão, como espelhos e lentes, é necessário o uso de interferômetros e outros equipamentos para detectar a precisão da forma da superfície. A base de granito do módulo de movimento de ultraprecisão flutuante a ar de eixo único pode ser usada como plataforma de movimento do interferômetro, que pode atingir a precisão de posicionamento submicrométrica e fornecer suporte de dados preciso para a detecção de componentes ópticos. Além disso, no equipamento de processamento a laser, também é necessário o uso de uma plataforma de movimento de alta precisão para controlar a trajetória de varredura do feixe de laser. A base de granito do módulo de movimento flutuante a ar pode atender a esse requisito, para alcançar o processamento a laser de alta precisão.