O granito é um material popular para camas de máquinas em equipamentos de processamento de wafer devido à sua rigidez excepcional, alto peso e excelente resistência ao desgaste e corrosão. No entanto, mesmo com essas propriedades vantajosas, os leitos de máquinas de granito não são imunes a certos defeitos que podem levar à diminuição do desempenho, precisão e confiabilidade do equipamento. Neste artigo, revisaremos alguns dos defeitos mais comuns de camas de máquinas de granito para equipamentos de processamento de wafer e sugerirão maneiras de resolvê -los.
1. Warp and Bow
O granito é um material natural e, como tal, pode conter pequenas variações em suas dimensões e nivelamento. Essas variações podem fazer com que os leitos de máquinas de granito se deformem ou se curvam ao longo do tempo, o que pode afetar a precisão do equipamento. Além disso, vibração pesada ou ciclismo térmico podem exacerbar esse problema. Uma maneira de resolver esse problema é escolher granito com melhor estabilidade dimensional e usar fixação para garantir que o leito da máquina permaneça plano.
2. Lascendo e rachando
O granito é um material duro e quebradiço, o que significa que pode facilmente chip ou rachaduras se estiver sujeito a alto impacto ou estresse. Essas imperfeições podem fazer com que o leito da máquina se torne desigual, afetando a suavidade do movimento do equipamento de processamento de wafer. Para evitar lascas e rachaduras, é importante lidar com a cama da máquina de granito com cuidado durante a instalação e operação. Além disso, é uma boa idéia realizar inspeções regulares para detectar quaisquer sinais de dano o mais rápido possível.
3. Rugosidade da superfície
A superfície de um leito de máquinas de granito precisa ser lisa e plana para garantir que o equipamento de processamento de wafer opere com precisão e confiabilidade. No entanto, o processo de usinagem usado para criar o leito da máquina pode deixar para trás a rugosidade da superfície que pode afetar o desempenho do equipamento. Para resolver esse problema, é importante realizar o processo de usinagem com cuidado e usar as ferramentas e técnicas apropriadas para alcançar o acabamento superficial desejado.
4. Coloração e descoloração
Os leitos de máquinas de granito podem ficar manchados e descoloridos ao longo do tempo devido à exposição a produtos químicos, água e outras substâncias. Isso pode afetar o apelo estético do equipamento e levar à degradação prematura do material de granito. Para evitar manchas e descoloração, é importante usar os procedimentos apropriados de limpeza e manutenção, incluindo limpeza regular e secagem do equipamento após o uso.
5. Distribuição desigual de peso
As camas de máquinas de granito são pesadas e, se o peso não for distribuído uniformemente, pode fazer com que o equipamento se torne instável e afete sua precisão e precisão. Para garantir que o peso seja distribuído uniformemente, é importante usar os niveladores e suportar estandes durante a instalação. Além disso, é uma boa idéia realizar inspeções regulares de peso para detectar desequilíbrios.
Em conclusão, os leitos de máquinas de granito são uma escolha popular para equipamentos de processamento de bolacha devido às suas excelentes propriedades. No entanto, eles não estão imunes a certos defeitos que podem afetar seu desempenho, precisão e confiabilidade. Seguindo as melhores práticas e cuidando bem do equipamento, é possível resolver esses problemas e garantir que o equipamento opere em níveis ideais nos próximos anos.
Hora de postagem: dez-29-2023