O granito é um material popular para leitos de máquinas em equipamentos de processamento de wafers devido à sua rigidez excepcional, alto peso e excelente resistência ao desgaste e à corrosão. No entanto, mesmo com essas propriedades vantajosas, leitos de máquinas em granito não são imunes a certos defeitos que podem levar à redução do desempenho, da precisão e da confiabilidade do equipamento. Neste artigo, revisaremos alguns dos defeitos mais comuns em leitos de máquinas em granito para equipamentos de processamento de wafers e sugeriremos maneiras de solucioná-los.
1. Urdidura e arco
O granito é um material natural e, como tal, pode apresentar pequenas variações em suas dimensões e planicidade. Essas variações podem fazer com que as bases das máquinas de granito se deformem ou arqueiem com o tempo, o que pode afetar a precisão do equipamento. Além disso, vibrações intensas ou ciclos térmicos podem agravar esse problema. Uma maneira de resolver esse problema é escolher granito com melhor estabilidade dimensional e usar fixadores para garantir que a base da máquina permaneça plana.
2. Lascas e rachaduras
O granito é um material duro e quebradiço, o que significa que pode lascar ou rachar facilmente se submetido a altos impactos ou tensões. Essas imperfeições podem fazer com que a base da máquina fique irregular, afetando a suavidade do movimento do equipamento de processamento de wafers. Para evitar lascas e rachaduras, é importante manusear a base da máquina de granito com cuidado durante a instalação e a operação. Além disso, é recomendável realizar inspeções regulares para detectar quaisquer sinais de danos o mais rápido possível.
3. Rugosidade da superfície
A superfície da base da máquina de granito precisa ser lisa e plana para garantir que o equipamento de processamento de wafers opere com precisão e confiabilidade. No entanto, o processo de usinagem usado para criar a base da máquina pode deixar rugosidade superficial que pode afetar o desempenho do equipamento. Para resolver esse problema, é importante realizar o processo de usinagem com cuidado e utilizar as ferramentas e técnicas adequadas para obter o acabamento superficial desejado.
4. Manchas e descoloração
As bases das máquinas de granito podem ficar manchadas e descoloridas com o tempo devido à exposição a produtos químicos, água e outras substâncias. Isso pode afetar a estética do equipamento e levar à degradação prematura do granito. Para evitar manchas e descoloração, é importante adotar procedimentos adequados de limpeza e manutenção, incluindo limpeza e secagem regulares do equipamento após o uso.
5. Distribuição desigual de peso
As bases das máquinas de granito são pesadas e, se o peso não for distribuído uniformemente, pode causar instabilidade no equipamento, afetando sua precisão e exatidão. Para garantir que o peso seja distribuído uniformemente, é importante usar niveladores e suportes durante a instalação. Além disso, é recomendável realizar inspeções regulares de peso para detectar qualquer desequilíbrio.
Concluindo, as bases de máquinas de granito são uma escolha popular para equipamentos de processamento de wafers devido às suas excelentes propriedades. No entanto, elas não são imunes a certos defeitos que podem afetar seu desempenho, precisão e confiabilidade. Seguindo as melhores práticas e cuidando bem do equipamento, é possível resolver esses problemas e garantir que ele opere em níveis ideais por muitos anos.
Horário da publicação: 29/12/2023