Fabricação de semicondutores
Litografia: A litografia é um processo fundamental na fabricação de semicondutores que exige a transferência precisa de padrões de circuitos complexos para wafers. A plataforma de movimento com isolamento ativo de vibração de precisão da XYT, sobre base de granito, oferece suporte estável e posicionamento preciso para o equipamento de litografia, garantindo que a precisão de posicionamento da mesa de wafers no processo de exposição atinja o nível nanométrico. Isso reduz efetivamente o desvio do padrão causado por vibração e deformação térmica, melhorando a precisão e o rendimento da fabricação do chip.
Inspeção de wafers: Após a conclusão da fabricação do wafer, é necessário inspecioná-lo com alta precisão para detectar pequenos defeitos e imperfeições. A plataforma de movimento com isolamento ativo de vibração de precisão da XYT pode transportar equipamentos de detecção, como microscópio de feixe de elétrons, microscópio de força atômica, etc., para manter o movimento estável e o posicionamento preciso durante o processo de detecção. Isso permite que o equipamento de detecção escaneie a superfície do wafer com precisão, melhorando a resolução e a precisão da detecção.
Fabricação de instrumentos ópticos
Retificação e polimento de lentes: No processo de fabricação de lentes ópticas, é necessário retificar e polir as lentes com alta precisão para obter boas propriedades ópticas. A plataforma de movimento com isolamento ativo de vibração de precisão da XYT controla com exatidão a trajetória das ferramentas de retificação e polimento, enquanto a base de granito isola a vibração externa, reduzindo seu impacto na precisão da usinagem e garantindo que a planicidade e o acabamento da superfície da lente atendam aos requisitos do projeto.
Montagem do sistema óptico: No processo de montagem do sistema óptico, diversos componentes ópticos precisam ser instalados com precisão em posições específicas para garantir a propagação correta da luz e a qualidade da imagem. A plataforma de movimento com isolamento ativo de vibração de precisão da XYT, com base de granito, oferece uma plataforma estável para a instalação e o ajuste dos componentes ópticos, permitindo o alinhamento e a montagem de alta precisão dos mesmos por meio do controle preciso do movimento.
aeroespacial
Teste do sistema de navegação inercial: O sistema de navegação inercial é um equipamento de navegação importante na área aeroespacial, e sua precisão afeta diretamente a exatidão da navegação e a segurança de voo da aeronave. No processo de teste do sistema de navegação inercial, é necessário utilizar uma plataforma giratória de alta precisão para simular diversos estados de movimento da aeronave. A plataforma de movimento com isolamento ativo de vibração de precisão da XYT pode ser utilizada como plataforma de suporte para a plataforma giratória. Através do controle preciso do movimento e do bom desempenho de isolamento de vibração, ela proporciona um ambiente de movimento estável e preciso para o teste do sistema de navegação inercial, melhorando a exatidão e a confiabilidade do teste.
Usinagem de pás de motores aeronáuticos: A precisão da usinagem das pás de motores aeronáuticos tem um impacto significativo no desempenho e na eficiência do motor. A plataforma de movimento com isolamento ativo de vibração de precisão da XYT pode ser aplicada ao processo de usinagem das pás, como em centros de usinagem de cinco eixos, controlando com precisão a trajetória de movimento da ferramenta e mantendo um ambiente de processamento estável. Isso permite obter usinagem de alta precisão das pás, garantindo que a precisão do perfil e a qualidade da superfície da pá atendam aos requisitos de projeto.
testes de pesquisa científica
Pesquisa em nanociência: Na pesquisa em nanociência, é necessário operar e observar objetos em nanoescala, como a preparação de nanomateriais e a montagem de nanodispositivos. A base de granito da plataforma de movimento com isolamento ativo de vibração de precisão da XYT proporciona precisão de posicionamento em nível submicrométrico ou até mesmo nanométrico, oferecendo uma plataforma experimental estável e precisa para pesquisas em nanociência e auxiliando os cientistas a explorar melhor os mistérios do nanomundo.
Imagens biomédicas: Na área biomédica, em dispositivos como microscopia de fluorescência, microscopia confocal e outras técnicas de imagem, para obter imagens biológicas de alta resolução, são necessários posicionamento preciso e imagens estáveis da amostra. A plataforma de movimento com isolamento ativo de vibração de precisão da XYT permite o transporte de amostras biológicas, reduzindo a vibração e o desvio das amostras por meio de controle preciso de movimento e excelente desempenho de isolamento de vibração. Isso melhora a qualidade e a precisão das imagens e auxilia pesquisadores biomédicos a conduzirem pesquisas aprofundadas sobre células, tecidos e outras estruturas microscópicas.
Data da publicação: 11 de abril de 2025