Fabricação de semicondutores
Litografia: A litografia é um processo essencial na fabricação de semicondutores que requer a transferência precisa de padrões de circuitos complexos para wafers. A plataforma de movimento com isolamento de vibração ativo de precisão XYT, sobre uma base de granito, fornece suporte estável e posicionamento preciso para o equipamento de litografia, garantindo que a precisão do posicionamento da mesa de wafers no processo de exposição atinja o nível nanométrico, reduzindo efetivamente o desvio do padrão causado por vibração e deformação térmica, e melhorando a precisão de fabricação e o rendimento do chip.
Inspeção de wafers: Após a conclusão da fabricação do wafer, ele precisa ser inspecionado com alta precisão para encontrar pequenos defeitos e imperfeições. A plataforma de movimento com isolamento de vibração ativo de precisão XYT pode transportar equipamentos de detecção, como microscópio de feixe de elétrons, microscópio de força atômica, etc., para manter o movimento estável e o posicionamento preciso durante o processo de detecção, permitindo que o equipamento de detecção escaneie a superfície do wafer com precisão, melhorando a resolução e a precisão da detecção.
Fabricação de instrumentos ópticos
Retificação e polimento de lentes: No processo de fabricação de lentes ópticas, é necessário retificar e polir as lentes com alta precisão para obter boas propriedades ópticas. A plataforma de movimento com isolamento de vibração ativo de precisão XYT pode controlar com precisão o caminho de movimento das ferramentas de retificação e polimento, enquanto a base de granito pode isolar a vibração externa, reduzindo o impacto da vibração na precisão da usinagem, para garantir que a planura e o acabamento da superfície da lente atendam aos requisitos de projeto.
Montagem do sistema óptico: No processo de montagem do sistema óptico, diversos componentes ópticos precisam ser instalados com precisão em posições específicas para garantir a propagação precisa da luz e a qualidade da imagem. A plataforma de movimento com isolamento de vibração ativo de precisão XYT com base de granito pode fornecer uma plataforma estável para a instalação e o ajuste de componentes ópticos, além de alcançar alinhamento e montagem de alta precisão por meio de controle preciso de movimento.
aeroespacial
Teste do sistema de navegação inercial: O sistema de navegação inercial é um importante equipamento de navegação na área aeroespacial, e sua precisão afeta diretamente a precisão da navegação e a segurança de voo das aeronaves. No processo de teste do sistema de navegação inercial, é necessário o uso de uma plataforma giratória de alta precisão para simular vários estados de movimento da aeronave. A plataforma de movimento com isolamento de vibração ativo de precisão XYT pode ser usada como plataforma de suporte para a plataforma giratória. Por meio do controle preciso do movimento e do bom desempenho do isolamento de vibração, ela proporciona um ambiente de movimento estável e preciso para o teste do sistema de navegação inercial, melhorando a precisão e a confiabilidade do teste.
Usinagem de lâminas de motores aeronáuticos: A precisão da usinagem de lâminas de motores aeronáuticos tem um impacto significativo no desempenho e na eficiência do motor. A plataforma de movimento com isolamento de vibração ativo de precisão XYT pode ser aplicada ao processo de usinagem de lâminas, como centros de usinagem de articulação de cinco eixos, controlando com precisão o caminho de movimento da ferramenta e mantendo um ambiente de processamento estável, para alcançar uma usinagem de alta precisão da lâmina, garantindo que a precisão do perfil da lâmina e a qualidade da superfície atendam aos requisitos de projeto.
Testes de pesquisa científica
Pesquisa em nanociência: Na pesquisa em nanociência, é necessário operar e observar objetos em nanoescala, como a preparação de nanomateriais e a montagem de nanodispositivos. A base de granito da plataforma de movimento com isolamento de vibração ativo de precisão XYT pode fornecer precisão de posicionamento em nível submicrométrico ou mesmo nanométrico, proporcionando uma plataforma experimental estável e precisa para pesquisas em nanociência e auxiliando os cientistas a explorar melhor os mistérios do mundo nano.
Imagem biomédica: Na área biomédica, como microscopia de fluorescência, microscopia confocal e outros dispositivos de imagem, para obter imagens biológicas de alta resolução, é necessário um posicionamento preciso e uma imagem estável da amostra. A plataforma de movimento com isolamento de vibração ativo de precisão XYT pode transportar amostras biológicas, reduzir a vibração e o desvio das amostras por meio de controle preciso do movimento e bom desempenho de isolamento de vibração, melhorar a qualidade e a precisão da imagem e auxiliar pesquisadores biomédicos a conduzir pesquisas aprofundadas sobre células, tecidos e outras estruturas microscópicas.
Horário da publicação: 11/04/2025