Os componentes de granito são amplamente utilizados em equipamentos semicondutores devido à sua alta estabilidade e durabilidade. Eles são responsáveis por manter a precisão e a exatidão dos processos de fabricação de semicondutores. No entanto, a eficácia e a confiabilidade dos componentes de granito dependem das normas e especificações que são respeitadas durante seu projeto, fabricação e instalação.
A seguir, apresentamos algumas das normas e especificações que devem ser respeitadas ao utilizar componentes de granito em equipamentos semicondutores:
1. Densidade do Material: A densidade do granito utilizado na fabricação de componentes de granito deve ser em torno de 2,65 g/cm³. Essa é a densidade do granito natural e garante consistência e confiabilidade nas propriedades dos componentes de granito.
2. Planicidade: A planicidade é uma das especificações mais cruciais para componentes de granito usados em equipamentos semicondutores. A planicidade da superfície do granito deve ser inferior a 0,001 mm/m². Isso garante que a superfície do componente seja plana e nivelada, o que é essencial para os processos de fabricação de semicondutores.
3. Acabamento da Superfície: O acabamento da superfície dos componentes de granito deve ser de alta qualidade, com uma rugosidade superficial inferior a 0,4 µm. Isso garante que a superfície do componente de granito tenha um baixo coeficiente de atrito, o que é fundamental para o bom funcionamento dos equipamentos semicondutores.
4. Coeficiente de Expansão Térmica: Os equipamentos semicondutores operam em diferentes temperaturas, e os componentes de granito devem ser capazes de suportar flutuações térmicas sem deformação. O coeficiente de expansão térmica do granito utilizado em equipamentos semicondutores deve ser inferior a 2 x 10^-6 /°C.
5. Tolerância Dimensional: A tolerância dimensional é crucial para o desempenho dos componentes de granito. A tolerância dimensional dos componentes de granito deve estar dentro de ±0,1 mm para todas as dimensões críticas.
6. Dureza e resistência ao desgaste: A dureza e a resistência ao desgaste são especificações essenciais para componentes de granito usados em equipamentos semicondutores. O granito possui dureza de 6 a 7 na escala de Mohs, o que o torna um material adequado para uso em aplicações de equipamentos semicondutores.
7. Desempenho de isolamento: Os componentes de granito utilizados em equipamentos semicondutores devem apresentar excelente desempenho de isolamento para evitar danos a componentes eletrônicos sensíveis. A resistência elétrica deve ser superior a 10^9 Ω/cm.
8. Resistência química: Os componentes de granito devem ser resistentes aos produtos químicos comuns usados nos processos de fabricação de semicondutores, como ácidos e álcalis.
Em conclusão, as normas e especificações para componentes de granito utilizados em equipamentos semicondutores são cruciais para garantir a longevidade e a confiabilidade tanto dos componentes quanto dos equipamentos em que são utilizados. As diretrizes acima devem ser rigorosamente seguidas durante os processos de projeto, fabricação e instalação para assegurar que os componentes sejam da mais alta qualidade. Ao seguir essas normas e especificações, os fabricantes de semicondutores podem garantir que o desempenho de seus equipamentos permaneça otimizado, resultando em maior produtividade e lucratividade.
Data da publicação: 20 de março de 2024