Quais são os padrões e especificações para componentes de granito em equipamentos semicondutores?

Componentes de granito são amplamente utilizados em equipamentos semicondutores devido à sua alta estabilidade e durabilidade. Eles são responsáveis ​​por manter a precisão e a exatidão dos processos de fabricação de semicondutores. No entanto, a eficácia e a confiabilidade dos componentes de granito dependem dos padrões e especificações mantidos durante seu projeto, fabricação e instalação.

A seguir estão alguns dos padrões e especificações que devem ser seguidos ao usar componentes de granito em equipamentos semicondutores:

1. Densidade do Material: A densidade do granito utilizado na fabricação de componentes de granito deve ser em torno de 2,65 g/cm³. Esta é a densidade do granito natural e garante consistência e confiabilidade nas propriedades dos componentes de granito.

2. Planicidade: A planicidade é uma das especificações mais cruciais para componentes de granito usados ​​em equipamentos semicondutores. A planicidade da superfície do granito deve ser inferior a 0,001 mm/m². Isso garante que a superfície do componente seja plana e nivelada, o que é essencial para os processos de fabricação de semicondutores.

3. Acabamento da Superfície: O acabamento da superfície dos componentes de granito deve ser de alta qualidade, com rugosidade inferior a 0,4 µm. Isso garante que a superfície do componente de granito tenha um baixo coeficiente de atrito, essencial para o bom funcionamento dos equipamentos semicondutores.

4. Coeficiente de Expansão Térmica: Equipamentos semicondutores operam em diferentes temperaturas, e os componentes de granito devem ser capazes de suportar flutuações térmicas sem deformação. O coeficiente de expansão térmica do granito usado em equipamentos semicondutores deve ser inferior a 2 x 10^-6 /°C.

5. Tolerância Dimensional: A tolerância dimensional é crucial para o desempenho dos componentes de granito. A tolerância dimensional dos componentes de granito deve estar dentro de ±0,1 mm para todas as dimensões críticas.

6. Dureza e Resistência ao Desgaste: Dureza e resistência ao desgaste são especificações essenciais para componentes de granito usados ​​em equipamentos semicondutores. O granito possui uma dureza na escala de Mohs de 6 a 7, tornando-o um material adequado para uso em aplicações de equipamentos semicondutores.

7. Desempenho de Isolamento: Os componentes de granito utilizados em equipamentos semicondutores devem apresentar excelente desempenho de isolamento para evitar danos a componentes eletrônicos sensíveis. A resistência elétrica deve ser superior a 10^9 Ω/cm.

8. Resistência química: os componentes de granito devem ser resistentes a produtos químicos comuns usados ​​em processos de fabricação de semicondutores, como ácidos e álcalis.

Em conclusão, os padrões e especificações para componentes de granito utilizados em equipamentos semicondutores são cruciais para garantir a longevidade e a confiabilidade tanto dos componentes quanto dos equipamentos em que são utilizados. As diretrizes acima devem ser rigorosamente seguidas durante os processos de projeto, fabricação e instalação para garantir que os componentes sejam da mais alta qualidade. Ao seguir esses padrões e especificações, os fabricantes de semicondutores podem garantir que o desempenho de seus equipamentos permaneça ótimo, resultando em aumento de produtividade e lucratividade.

granito de precisão11


Horário da publicação: 20/03/2024