♦Alumina(Al2O3)
As peças cerâmicas de precisão produzidas pelo ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) podem ser fabricadas com matérias-primas cerâmicas de alta pureza, com teores de 92 a 97% de alumina, 99,5% de alumina e >99,9% de alumina, e prensagem isostática a frio CIP. Sinterização em alta temperatura e usinagem de precisão, precisão dimensional de ± 0,001 mm, lisura de até Ra0,1 e temperatura de uso de até 1600 graus. A cerâmica pode ser produzida em diferentes cores, de acordo com as necessidades do cliente, como: preto, branco, bege, vermelho escuro, etc. As peças cerâmicas de precisão produzidas por nossa empresa são resistentes a altas temperaturas, corrosão, desgaste e isolamento, podendo ser usadas por um longo período em altas temperaturas, vácuo e ambientes com gases corrosivos.
Amplamente utilizado em uma variedade de equipamentos de produção de semicondutores: Estruturas (suporte de cerâmica), Substrato (base), Braço/Ponte (manipulador), Componentes mecânicos e Mancais de ar de cerâmica.
Nome do produto | Tubo/cano/barra de cerâmica quadrada de alumina 99 de alta pureza | |||||
Índice | Unidade | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
Densidade | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Absorção de água | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Temperatura Sinterizada | °C | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Dureza | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Resistência à flexão (20℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Resistência à compressão | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Temperatura de trabalho de longa duração | °C | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Temperatura máxima de trabalho | °C | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Resistividade volumétrica | 20℃ | Ω cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Aplicação de cerâmica de alumina de alta pureza:
1. Aplicado em equipamentos semicondutores: mandril de vácuo de cerâmica, disco de corte, disco de limpeza, MANDRIL de cerâmica.
2. Peças de transferência de wafer: mandris de manuseio de wafer, discos de corte de wafer, discos de limpeza de wafer, ventosas para inspeção óptica de wafer.
3. Indústria de telas planas LED/LCD: bico de cerâmica, disco de moagem de cerâmica, PINO DE ELEVAÇÃO, trilho de PINO.
4. Comunicação óptica, indústria solar: tubos cerâmicos, hastes cerâmicas, raspadores cerâmicos de serigrafia de placas de circuito.
5. Peças resistentes ao calor e eletricamente isolantes: rolamentos cerâmicos.
Atualmente, as cerâmicas de óxido de alumínio podem ser divididas em cerâmicas de alta pureza e cerâmicas comuns. A série de cerâmicas de óxido de alumínio de alta pureza refere-se ao material cerâmico que contém mais de 99,9% de Al₂O₃. Devido à sua temperatura de sinterização de até 1650 - 1990 °C e seu comprimento de onda de transmissão de 1 ~ 6 μm, é geralmente processado em vidro fundido em vez de cadinho de platina: que pode ser usado como tubo de sódio devido à sua transmitância de luz e resistência à corrosão de metais alcalinos. Na indústria eletrônica, pode ser usado como material isolante de alta frequência para substratos de CI. De acordo com diferentes teores de óxido de alumínio, a série de cerâmicas de óxido de alumínio comum pode ser dividida em cerâmicas 99, cerâmicas 95, cerâmicas 90 e cerâmicas 85. Às vezes, as cerâmicas com 80% ou 75% de óxido de alumínio também são classificadas como séries de cerâmicas de óxido de alumínio comum. Entre eles, o material cerâmico de óxido de alumínio 99 é usado para produzir cadinhos de alta temperatura, tubos de forno à prova de fogo e materiais especiais resistentes ao desgaste, como rolamentos cerâmicos, vedações cerâmicas e placas de válvulas. A cerâmica de alumínio 95 é usada principalmente como peças resistentes à corrosão e ao desgaste. A cerâmica 85 é frequentemente misturada em algumas propriedades, melhorando assim o desempenho elétrico e a resistência mecânica. Pode usar molibdênio, nióbio, tântalo e outros vedações metálicas, e algumas são usadas como dispositivos de vácuo elétrico.
Item de qualidade (valor representativo) | Nome do produto | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Composição química Produto de fácil sinterização com baixo teor de sódio | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Diâmetro médio de partícula (MT-3300, método de análise a laser) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
Tamanho do cristal α | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Densidade de formação** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Densidade de sinterização** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Taxa de encolhimento da linha de sinterização** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO não está incluído no cálculo de pureza do Al₂O₃.
* Sem pó de incrustação 29,4 MPa (300 kg/cm²), temperatura de sinterização de 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Adicione 0,05 ~ 0,1% de MgO, a sinterabilidade é excelente, por isso é aplicável a cerâmicas de óxido de alumínio com pureza de mais de 99%.
AES-22S: Caracterizado pela alta densidade de conformação e baixa taxa de encolhimento da linha de sinterização, é aplicável à fundição de formas deslizantes e outros produtos de grande porte com a precisão dimensional necessária.
AES-23 / AES-31-03: Possui maior densidade de conformação, tixotropia e menor viscosidade que o AES-22S. O primeiro é usado em cerâmicas, enquanto o último é usado como redutor de água para materiais à prova de fogo, ganhando popularidade.
♦Características do carboneto de silício (SiC)
Características Gerais | Pureza dos principais componentes (% em peso) | 97 | |
Cor | Preto | ||
Densidade (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorção de água (%) | 0 | ||
Características Mecânicas | Resistência à flexão (MPa) | 400 | |
Módulo de Young (GPa) | 400 | ||
Dureza Vickers (GPa) | 20 | ||
Características Térmicas | Temperatura máxima de operação (°C) | 1600 | |
Coeficiente de expansão térmica | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
Condutividade térmica (W/m x K) | 130 110 | ||
Resistência ao choque térmico ΔT (°C) | 300 | ||
Características elétricas | Resistividade volumétrica | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Constante dielétrica | 10 GHz | - | |
Perda dielétrica (x 10-4) | - | ||
Fator Q (x 104) | - | ||
Tensão de ruptura dielétrica (kV/mm) | - |
♦ Cerâmica de nitreto de silício
Material | Unidade | Si₃N₄ |
Método de sinterização | - | Sinterizado sob pressão de gás |
Densidade | g/cm³ | 3.22 |
Cor | - | Cinza escuro |
Taxa de absorção de água | % | 0 |
Módulo Jovem | GPA | 290 |
Dureza Vickers | GPA | 18 - 20 |
Resistência à compressão | MPA | 2200 |
Resistência à flexão | MPA | 650 |
Condutividade térmica | Com mK | 25 |
Resistência ao choque térmico | Δ (°C) | 450 - 650 |
Temperatura máxima de operação | °C | 1200 |
Resistividade volumétrica | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Constante Dielétrica | - | 8.2 |
Rigidez Dielétrica | kV/mm | 16 |