♦ Alumina (Al2O3)
As peças de cerâmica de precisão produzidas pelo Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) podem ser feitas de matérias-primas de cerâmica de alta pureza, alumina de 92 ~ 97%, alumina de 99,5%,> 99,9% de alumina e prensa isostática fria CIP. A sinterização de alta temperatura e usinagem de precisão, precisão dimensional de ± 0,001 mm, suavidade até RA0.1, use temperatura de até 1600 graus. Diferentes cores de cerâmica podem ser feitas de acordo com os requisitos dos clientes, como: preto, branco, bege, vermelho escuro, etc. As peças de cerâmica de precisão produzidas por nossa empresa são resistentes a alta temperatura, corrosão, desgaste e isolamento e podem ser usados por muito tempo em alta temperatura, ambiente a gás corrosivo.
Amplamente utilizado em uma variedade de equipamentos de produção de semicondutores: molduras (suporte de cerâmica), substrato (base), braço/ ponte (manipulador), componentes mecânicos e rolamento de ar de cerâmica.
Nome do produto | Alta pureza 99 Alumina Cerâmica quadrada / tubo / haste / haste | |||||
Índice | Unidade | 85 % AL2O3 | 95 % AL2O3 | 99 % AL2O3 | 99,5 % AL2O3 | |
Densidade | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Absorção de água | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Temperatura sinterizada | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Dureza | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Força de flexão (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Força de compressão | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Temperatura de trabalho de longa data | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Máx. Temperatura de trabalho | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Resistividade de volume | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Aplicação de cerâmica de alumina de alta pureza:
1. Aplicado ao equipamento semicondutor: mandril de vácuo de cerâmica, disco de corte, disco de limpeza, mandril de cerâmica.
2. Peças de transferência de wafer: Manuseio de bolacha, discos de corte de bolas, discos de limpeza de bolas, copos de sucção de inspeção óptica de wafer.
3. Indústria de exibição de painel plano LED / LCD: bico de cerâmica, disco de moagem de cerâmica, pino de elevação, trilho de alfinete.
4. Comunicação óptica, indústria solar: tubos de cerâmica, hastes de cerâmica, raspadores de cerâmica da tela da placa de circuito.
5. Peças resistentes ao calor e isolante eletricamente: rolamentos de cerâmica.
Atualmente, a cerâmica de óxido de alumínio pode ser dividida em alta pureza e cerâmica comum. A série de cerâmica de óxido de alumínio de alta pureza refere -se ao material de cerâmica contendo mais de 99,9% de Al₂o₃. Devido à sua temperatura de sinterização de até 1650 - 1990 ° C e seu comprimento de onda de transmissão de 1 ~ 6μm, geralmente é processado em vidro fundido em vez de cadinho de platina: que pode ser usado como tubo de sódio devido à sua transmitância de luz e resistência à corrosão ao metal alcalino. Na indústria eletrônica, ele pode ser usado como material isolante de alta frequência para substratos de IC. De acordo com diferentes conteúdos de óxido de alumínio, a série de cerâmica de óxido de alumínio comum pode ser dividida em 99 cerâmica, 95 cerâmica, 90 cerâmica e 85 cerâmica. Às vezes, a cerâmica com 80% ou 75% do óxido de alumínio também é classificada como série de cerâmica de óxido de alumínio comum. Entre eles, o material cerâmico de óxido de alumínio 99 é usado para produzir tubo de forno de alta temperatura e comprovação de fogo e materiais especiais resistentes a desgaste, como rolamentos de cerâmica, vedações de cerâmica e placas de válvula. 95 A cerâmica de alumínio é usada principalmente como parte resistente ao desgaste resistente à corrosão. 85 A cerâmica é frequentemente misturada em algumas propriedades, melhorando assim o desempenho elétrico e a resistência mecânica. Pode usar molibdênio, nióbio, tântalo e outras vedações de metal, e alguns são usados como dispositivos de vácuo elétricos.
Item de qualidade (valor representativo) | Nome do produto | AES-12 | AES-11 | AES-11c | AES-11f | AES-22s | AES-23 | AL-31-03 | |
Composição química Produto de sinterização de baixo sódio | H₂o | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Lol | % | 0.1 | 0,2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MGO* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
Diâmetro de partícula média (MT-3300, método de análise a laser) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Tamanho do cristal | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Densidade de formação ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Densidade de sinterização ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Taxa de síntera em encolhimento ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* O MGO não está incluído no cálculo da pureza de Al₂o₃.
* Sem pó de escala 29.4MPa (300kg/cm²), a temperatura de sinterização é de 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11f: Adicione 0,05 ~ 0,1% de MgO, a sinterização é excelente, por isso é aplicável à cerâmica de óxido de alumínio com a pureza de mais de 99%.
AES-22s: caracterizado por alta densidade de formação e baixa taxa de encolhimento da linha de sinterização, é aplicável à formulário de deslizamento e outros produtos em larga escala com precisão dimensional necessária.
AES-23 / AES-31-03: Possui uma densidade de formação mais alta, tixotropia e uma viscosidade mais baixa que os AES-22s. O primeiro é usado para cerâmica, enquanto o último é usado como redutor de água para materiais à prova de fogo, ganhando popularidade.
♦ características de carboneto de silício (sic)
Características gerais | Pureza dos componentes principais (%em peso) | 97 | |
Cor | Preto | ||
Densidade (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorção de água (%) | 0 | ||
Características mecânicas | Força de flexão (MPA) | 400 | |
Módulo jovem (GPA) | 400 | ||
Vickers dureza (GPA) | 20 | ||
Características térmicas | Temperatura de operação máxima (° C) | 1600 | |
Coeficiente de expansão térmica | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
(1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
Condutividade térmica (w/m x k) | 130 110 | ||
Resistência ao choque térmico Δt (° C) | 300 | ||
Características elétricas | Resistividade de volume | 25 ° C. | 3 x 106 |
300 ° C. | - | ||
500 ° C. | - | ||
800 ° C. | - | ||
Constante dielétrica | 10GHz | - | |
Perda dielétrica (x 10-4) | - | ||
Fator Q (x 104) | - | ||
Tensão de quebra dielétrica (kv/mm) | - |
♦ Cerâmica de nitreto de silício
Material | Unidade | Si₃n₄ |
Método de sinterização | - | Pressão do gás sinterizada |
Densidade | g/cm³ | 3.22 |
Cor | - | Cinza escuro |
Taxa de absorção de água | % | 0 |
Módulo jovem | GPA | 290 |
Vickers dureza | GPA | 18 - 20 |
Força de compressão | MPA | 2200 |
Força de flexão | MPA | 650 |
Condutividade térmica | W/mk | 25 |
Resistência ao choque térmico | Δ (° C) | 450 - 650 |
Temperatura de operação máxima | ° c | 1200 |
Resistividade de volume | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
Constante dielétrica | - | 8.2 |
Força dielétrica | kv/mm | 16 |