Material - cerâmica

♦ Alumina (Al2O3)

As peças de cerâmica de precisão produzidas pelo Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) podem ser feitas de matérias-primas de cerâmica de alta pureza, alumina de 92 ~ 97%, alumina de 99,5%,> 99,9% de alumina e prensa isostática fria CIP. A sinterização de alta temperatura e usinagem de precisão, precisão dimensional de ± 0,001 mm, suavidade até RA0.1, use temperatura de até 1600 graus. Diferentes cores de cerâmica podem ser feitas de acordo com os requisitos dos clientes, como: preto, branco, bege, vermelho escuro, etc. As peças de cerâmica de precisão produzidas por nossa empresa são resistentes a alta temperatura, corrosão, desgaste e isolamento e podem ser usados ​​por muito tempo em alta temperatura, ambiente a gás corrosivo.

Amplamente utilizado em uma variedade de equipamentos de produção de semicondutores: molduras (suporte de cerâmica), substrato (base), braço/ ponte (manipulador), componentes mecânicos e rolamento de ar de cerâmica.

AL2O3

Nome do produto Alta pureza 99 Alumina Cerâmica quadrada / tubo / haste / haste
Índice Unidade 85 % AL2O3 95 % AL2O3 99 % AL2O3 99,5 % AL2O3
Densidade g/cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Absorção de água % <0,1 <0,1 0 0
Temperatura sinterizada 1620 1650 1800 1800
Dureza Mohs 7 9 9 9
Força de flexão (20 ℃)) MPA 200 300 340 360
Força de compressão KGF/CM2 10000 25000 30000 30000
Temperatura de trabalho de longa data 1350 1400 1600 1650
Máx. Temperatura de trabalho 1450 1600 1800 1800
Resistividade de volume 20 ℃ Ω. CM3 > 1013 > 1013 > 1013 > 1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ > 109 > 1010 > 1012 > 1012

Aplicação de cerâmica de alumina de alta pureza:
1. Aplicado ao equipamento semicondutor: mandril de vácuo de cerâmica, disco de corte, disco de limpeza, mandril de cerâmica.
2. Peças de transferência de wafer: Manuseio de bolacha, discos de corte de bolas, discos de limpeza de bolas, copos de sucção de inspeção óptica de wafer.
3. Indústria de exibição de painel plano LED / LCD: bico de cerâmica, disco de moagem de cerâmica, pino de elevação, trilho de alfinete.
4. Comunicação óptica, indústria solar: tubos de cerâmica, hastes de cerâmica, raspadores de cerâmica da tela da placa de circuito.
5. Peças resistentes ao calor e isolante eletricamente: rolamentos de cerâmica.
Atualmente, a cerâmica de óxido de alumínio pode ser dividida em alta pureza e cerâmica comum. A série de cerâmica de óxido de alumínio de alta pureza refere -se ao material de cerâmica contendo mais de 99,9% de Al₂o₃. Devido à sua temperatura de sinterização de até 1650 - 1990 ° C e seu comprimento de onda de transmissão de 1 ~ 6μm, geralmente é processado em vidro fundido em vez de cadinho de platina: que pode ser usado como tubo de sódio devido à sua transmitância de luz e resistência à corrosão ao metal alcalino. Na indústria eletrônica, ele pode ser usado como material isolante de alta frequência para substratos de IC. De acordo com diferentes conteúdos de óxido de alumínio, a série de cerâmica de óxido de alumínio comum pode ser dividida em 99 cerâmica, 95 cerâmica, 90 cerâmica e 85 cerâmica. Às vezes, a cerâmica com 80% ou 75% do óxido de alumínio também é classificada como série de cerâmica de óxido de alumínio comum. Entre eles, o material cerâmico de óxido de alumínio 99 é usado para produzir tubo de forno de alta temperatura e comprovação de fogo e materiais especiais resistentes a desgaste, como rolamentos de cerâmica, vedações de cerâmica e placas de válvula. 95 A cerâmica de alumínio é usada principalmente como parte resistente ao desgaste resistente à corrosão. 85 A cerâmica é frequentemente misturada em algumas propriedades, melhorando assim o desempenho elétrico e a resistência mecânica. Pode usar molibdênio, nióbio, tântalo e outras vedações de metal, e alguns são usados ​​como dispositivos de vácuo elétricos.

 

Item de qualidade (valor representativo) Nome do produto AES-12 AES-11 AES-11c AES-11f AES-22s AES-23 AL-31-03
Composição química Produto de sinterização de baixo sódio H₂o % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Lol % 0.1 0,2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂o % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MGO* % - 0.11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Diâmetro de partícula média (MT-3300, método de análise a laser) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α Tamanho do cristal μm 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Densidade de formação ** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Densidade de sinterização ** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Taxa de síntera em encolhimento ** % 17 17 18 18 15 12 7

* O MGO não está incluído no cálculo da pureza de Al₂o₃.
* Sem pó de escala 29.4MPa (300kg/cm²), a temperatura de sinterização é de 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11f: Adicione 0,05 ~ 0,1% de MgO, a sinterização é excelente, por isso é aplicável à cerâmica de óxido de alumínio com a pureza de mais de 99%.
AES-22s: caracterizado por alta densidade de formação e baixa taxa de encolhimento da linha de sinterização, é aplicável à formulário de deslizamento e outros produtos em larga escala com precisão dimensional necessária.
AES-23 / AES-31-03: Possui uma densidade de formação mais alta, tixotropia e uma viscosidade mais baixa que os AES-22s. O primeiro é usado para cerâmica, enquanto o último é usado como redutor de água para materiais à prova de fogo, ganhando popularidade.

♦ características de carboneto de silício (sic)

Características gerais Pureza dos componentes principais (%em peso) 97
Cor Preto
Densidade (g/cm³) 3.1
Absorção de água (%) 0
Características mecânicas Força de flexão (MPA) 400
Módulo jovem (GPA) 400
Vickers dureza (GPA) 20
Características térmicas Temperatura de operação máxima (° C) 1600
Coeficiente de expansão térmica RT ~ 500 ° C. 3.9
(1/° C x 10-6) RT ~ 800 ° C. 4.3
Condutividade térmica (w/m x k) 130 110
Resistência ao choque térmico Δt (° C) 300
Características elétricas Resistividade de volume 25 ° C. 3 x 106
300 ° C. -
500 ° C. -
800 ° C. -
Constante dielétrica 10GHz -
Perda dielétrica (x 10-4) -
Fator Q (x 104) -
Tensão de quebra dielétrica (kv/mm) -

20200507170353_55726

♦ Cerâmica de nitreto de silício

Material Unidade Si₃n₄
Método de sinterização - Pressão do gás sinterizada
Densidade g/cm³ 3.22
Cor - Cinza escuro
Taxa de absorção de água % 0
Módulo jovem GPA 290
Vickers dureza GPA 18 - 20
Força de compressão MPA 2200
Força de flexão MPA 650
Condutividade térmica W/mk 25
Resistência ao choque térmico Δ (° C) 450 - 650
Temperatura de operação máxima ° c 1200
Resistividade de volume Ω · cm > 10 ^ 14
Constante dielétrica - 8.2
Força dielétrica kv/mm 16