Base de granito de ultraprecisão para inspeção e metrologia de wafers

1. Ciência de Materiais Superior: Granito Preto ZHHIMG®

Ao contrário do granito comum ou, pior ainda, do mármore de qualidade inferior usado por fabricantes menos escrupulosos, as bases ZHHIMG são construídas exclusivamente com nosso granito preto ZHHIMG® patenteado.

● Densidade excepcional: Nosso material possui uma densidade impressionante de ≈ 3100 kg/m³, superior à de muitos granitos pretos convencionais da Europa e das Américas.

● Estabilidade térmica: A alta densidade e a mínima absorção de água garantem uma estabilidade dimensional superior, reduzindo drasticamente o impacto da deriva térmica durante os ciclos críticos de inspeção.

● Amortecimento de vibrações: A estrutura mineral natural proporciona um amortecimento interno excepcional, essencial para isolar componentes ópticos e sensores sensíveis de vibrações externas.

2. Capacidade de fabricação e montagem inigualável

Nosso compromisso com a precisão se resume em nossa crença fundamental: "O negócio da precisão não pode ser exigente demais."

● Artesanato de Mestre: Nossas bases são lapidadas à mão por técnicos especializados, muitos com mais de 30 anos de experiência, que conseguem alcançar planicidade e paralelismo da superfície em nível nanométrico — precisão verificada por interferômetros a laser Renishaw e níveis eletrônicos WYLER.

● Ambiente controlado: A usinagem e a montagem final são realizadas em nossa sala limpa de 10.000 m² com temperatura e umidade controladas (simulando as rigorosas condições de uma fábrica de semicondutores). Esta instalação conta com uma fundação de concreto de 1000 mm de espessura e valas antivibração de 2000 mm de profundidade, garantindo um ambiente de metrologia verdadeiramente estável.

3. Design de Precisão Integrado (Conforme mostrado na imagem)

A base é normalmente fornecida como um conjunto complexo, frequentemente incluindo:

● Estruturas em forma de L/pórtico: Projetadas para suportar o movimento vertical (eixo Z) das cabeças de imagem, garantindo ortogonalidade e precisão geométrica.

● Ranhuras e insertos de precisão: Superfícies pré-usinadas com insertos roscados de aço e furos de precisão para montagem de mancais de ar, motores lineares (mesa XY), sistemas de visão e trilhos-guia (THK, HIWIN, Rexroth).

● Personalização: Somos especializados em usinagem em grande escala, capazes de fornecer bases monolíticas de granito com até 20 metros de comprimento e 100 toneladas de peso, adaptadas precisamente às dimensões do seu equipamento.