O que é um granito usado em equipamentos de processamento de wafers?

O granito é um material popular na indústria de processamento de wafers devido às suas propriedades mecânicas e durabilidade excepcionais. É uma pedra natural extraída de pedreiras em todo o mundo e utilizada há séculos para diversos fins na construção civil, incluindo a fabricação de equipamentos semicondutores. Neste artigo, discutiremos as propriedades do granito e suas diversas aplicações em equipamentos de processamento de wafers.

Propriedades do Granito

O granito é uma rocha ígnea composta por mica, feldspato e quartzo. É conhecido por sua excepcional resistência, dureza e durabilidade, tornando-o um material ideal para aplicações que exigem alta precisão e exatidão. O granito possui baixo coeficiente de expansão térmica, o que significa que não se expande nem se contrai devido a mudanças de temperatura, o que o torna altamente estável. Além disso, o granito é resistente à corrosão e a produtos químicos, o que o torna um material ideal para uso em ambientes agressivos.

Aplicações de granito em equipamentos de processamento de wafers

O granito é um material amplamente utilizado na indústria de processamento de wafers devido à sua combinação única de propriedades. A seguir, algumas das aplicações do granito em equipamentos de processamento de wafers:

1. Ferramentas de Metrologia

O granito é comumente utilizado na fabricação de ferramentas de metrologia, como máquinas de medição por coordenadas (CMMs) e sistemas de medição óptica. Essas ferramentas exigem superfícies estáveis ​​que resistam a vibrações e calor. A alta rigidez e a baixa expansão térmica do granito o tornam um material ideal para tais aplicações.

2. Mandris de wafer

Mandris para wafers são usados ​​para segurar wafers durante o processo de fabricação. Esses mandris requerem uma superfície plana e estável para evitar que o wafer se deforme ou dobre. O granito proporciona uma superfície plana, altamente estável e resistente à deformação, tornando-se um excelente material para mandris para wafers.

3. Ferramentas de polimento químico-mecânico (CMP)

Ferramentas CMP são usadas para polir wafers durante o processo de fabricação. Essas ferramentas requerem uma plataforma estável que resista a vibrações e calor. A excelente rigidez e a baixa expansão térmica do granito o tornam um material ideal para ferramentas CMP.

4. Equipamento de inspeção de wafers

Equipamentos de inspeção de wafers são utilizados para inspecionar wafers em busca de defeitos e falhas. Essas ferramentas requerem uma superfície estável e plana para garantir medições precisas. O granito proporciona uma superfície estável e plana, resistente à deformação, tornando-se um material ideal para equipamentos de inspeção de wafers.

Conclusão

Em suma, o granito é um material amplamente utilizado na indústria de processamento de wafers devido às suas excepcionais propriedades mecânicas e durabilidade. É comumente utilizado na fabricação de ferramentas de metrologia, mandris para wafers, ferramentas CMP e equipamentos de inspeção de wafers. A combinação única de propriedades o torna um material ideal para aplicações que exigem alta precisão e exatidão. Com seus muitos benefícios, o granito continua sendo uma escolha popular para equipamentos de processamento de wafers, e seu uso provavelmente continuará a crescer no futuro.

granito de precisão37


Horário da publicação: 27/12/2023