O granito é um material popular na indústria de processamento de wafers devido às suas excepcionais propriedades mecânicas e durabilidade. É uma pedra natural extraída de pedreiras em todo o mundo e utilizada há séculos para diversos fins de construção, incluindo a fabricação de equipamentos semicondutores. Neste artigo, discutiremos as propriedades do granito e suas diversas aplicações em equipamentos de processamento de wafers.
Propriedades do granito
O granito é uma rocha ígnea composta por mica, feldspato e quartzo. É conhecido por sua excepcional resistência, dureza e durabilidade, o que o torna um material ideal para aplicações que exigem alta precisão e exatidão. O granito possui um baixo coeficiente de expansão térmica, o que significa que não se expande nem se contrai devido a mudanças de temperatura, conferindo-lhe grande estabilidade. Além disso, o granito é resistente à corrosão e a produtos químicos, o que o torna um material ideal para uso em ambientes agressivos.
Aplicações do granito em equipamentos de processamento de wafers
O granito é um material amplamente utilizado na indústria de processamento de wafers devido à sua combinação única de propriedades. A seguir, algumas das aplicações do granito em equipamentos de processamento de wafers:
1. Ferramentas de Metrologia
O granito é comumente usado na fabricação de ferramentas de metrologia, como máquinas de medição por coordenadas (MMCs) e sistemas de medição óptica. Essas ferramentas exigem superfícies estáveis que resistam a vibrações e calor. A alta rigidez e a baixa expansão térmica do granito o tornam um material ideal para tais aplicações.
2. Mandris para wafers
Os suportes para wafers são usados para segurar os wafers durante o processo de fabricação. Esses suportes exigem uma superfície plana e estável para evitar que o wafer se deforme ou dobre. O granito oferece uma superfície plana, altamente estável e resistente à deformação, tornando-o um excelente material para suportes de wafers.
3. Ferramentas de Polimento Químico-Mecânico (CMP)
As ferramentas CMP são utilizadas para polir wafers durante o processo de fabricação. Essas ferramentas requerem uma plataforma estável que resista a vibrações e calor. A excelente rigidez e a baixa expansão térmica do granito o tornam um material ideal para ferramentas CMP.
4. Equipamentos de Inspeção de Wafer
Os equipamentos de inspeção de wafers são usados para inspecionar wafers em busca de defeitos e falhas. Essas ferramentas exigem uma superfície estável e plana para garantir medições precisas. O granito oferece uma superfície estável e plana, resistente a deformações, tornando-o um material ideal para equipamentos de inspeção de wafers.
Conclusão
Em conclusão, o granito é um material amplamente utilizado na indústria de processamento de wafers devido às suas excepcionais propriedades mecânicas e durabilidade. É comumente empregado na fabricação de ferramentas de metrologia, suportes para wafers, ferramentas de CMP (polimento químico-mecânico) e equipamentos de inspeção de wafers. A combinação única de propriedades o torna um material ideal para aplicações que exigem alta precisão e exatidão. Com seus inúmeros benefícios, o granito continua sendo uma escolha popular para equipamentos de processamento de wafers, e seu uso provavelmente continuará a crescer no futuro.
Data da publicação: 27/12/2023