O granito é um material popular na indústria de processamento de wafers devido às suas excepcionais propriedades mecânicas e durabilidade.É uma pedra natural extraída de pedreiras em todo o mundo e tem sido utilizada há séculos para diversos fins de construção, incluindo a fabricação de equipamentos semicondutores.Neste artigo, discutiremos as propriedades do granito e suas diversas aplicações em equipamentos de processamento de wafers.
Propriedades do Granito
O granito é uma rocha ígnea composta de mica, feldspato e quartzo.É conhecido por sua excepcional resistência, dureza e durabilidade, tornando-o um material ideal para aplicações que exigem alta precisão e exatidão.O granito possui baixo coeficiente de dilatação térmica, o que significa que não se expande nem contrai devido às mudanças de temperatura, o que o torna altamente estável.Além disso, o granito é resistente à corrosão e a produtos químicos, o que o torna um material ideal para uso em ambientes agressivos.
Aplicações de granito em equipamentos de processamento de wafer
O granito é um material amplamente utilizado na indústria de processamento de wafers devido à sua combinação única de propriedades.A seguir estão algumas das aplicações do granito em equipamentos de processamento de wafer:
1. Ferramentas de metrologia
O granito é comumente usado na fabricação de ferramentas de metrologia, como máquinas de medição por coordenadas (CMMs) e sistemas de medição óptica.Essas ferramentas requerem superfícies estáveis que possam resistir a vibrações e ao calor.A alta rigidez e a baixa expansão térmica do granito tornam-no um material ideal para tais aplicações.
2. Mandris de wafer
Os mandris de wafer são usados para segurar wafers durante o processo de fabricação.Esses mandris requerem uma superfície plana e estável para evitar que o wafer se deforme ou dobre.O granito fornece uma superfície plana altamente estável e resistente a empenamentos, tornando-o um excelente material para mandris de wafer.
3. Ferramentas de polimento químico-mecânico (CMP)
As ferramentas CMP são usadas para polir wafers durante o processo de fabricação.Essas ferramentas requerem uma plataforma estável que possa resistir a vibrações e ao calor.A excelente rigidez e a baixa expansão térmica do granito tornam-no um material ideal para ferramentas CMP.
4. Equipamento de inspeção de wafer
O equipamento de inspeção de wafer é usado para inspecionar wafers em busca de defeitos e falhas.Essas ferramentas requerem uma superfície estável e plana para garantir medições precisas.O granito fornece uma superfície estável e plana que é resistente a empenamentos, tornando-o um material ideal para equipamentos de inspeção de wafers.
Conclusão
Concluindo, o granito é um material amplamente utilizado na indústria de processamento de wafers devido às suas excepcionais propriedades mecânicas e durabilidade.É comumente usado na fabricação de ferramentas de metrologia, mandris de wafer, ferramentas CMP e equipamentos de inspeção de wafer.A combinação única de propriedades o torna um material ideal para aplicações que exigem alta precisão e exatidão.Com seus muitos benefícios, o granito continua sendo uma escolha popular para equipamentos de processamento de wafers, e é provável que seu uso continue a crescer no futuro.
Horário da postagem: 27 de dezembro de 2023